激光微纳加工微槽道试验研究

针对100 mm×100 mm×2 mm铜制均热板进行微槽道激光加工试验研究,初步探究激光重复频率、扫描速度和扫描方式等工艺参数对微槽道微观结构及表面质量的影响规律,并对9组试件微槽道深度及表面质量进行了试验分析.结果表明,激光扫描速度越快,槽道表面质量越差;重复频率越高,表面形貌越光滑;使用多次加工方式比一次加工成型得到的微槽道热影响低,表面质量高.最终确定,铜制材料在填充间距0.01 mm、功率18 W、激光扫描速度300 mm/s、频率50 KHz、多次加工工艺下的微槽道加工工艺质量最优.