反应气体配比对C/SiC复合材料ICVI工艺沉积性能的影响

研究了均热法化学气相渗透工艺过程中反应气体浓度、配比及流动对沉积物和复合材料性能的影响 ,提出了一种简单反应气体在线监控法。XRD分析结果表明 ,当H2 /MTS摩尔比在 2～ 5之间时 ,可沉积出纯净均匀的碳化硅基体 ;而H2 /MTS摩尔比小于 1时 ,沉积物中含有大量自由碳。SEM分析表明 ,甲基三氯硅烷的浓度对沉积速率和沉积深度影响很大 ,随着甲基三氯硅烷的浓度减小 ,沉积深度增大 ,但甲基三氯硅烷的浓度减小引起沉积速率下降 ,沉积周期延长。确保炉内反应气体流动畅通 ,可提高沉积的均匀性和沉积速率。