极坐标激光直写系统原点定位的实验研究

分析了旋转线性光栅法对准光轴与旋转机械轴中心的理论准确度 ,实验研究了极坐标激光直写系统的原点定位 在极坐标激光直写系统下进行了圆环线条写入实验 ,得出了原点定位的准确度 ,原点定位准确度优于 0 .5 μm 。