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坡莫磁阻薄膜的热处理研究
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作者 章岚 郭懋端 徐梅娣 《功能材料》 EI CAS CSCD 1993年第5期399-401,共3页
研究了坡莫磁阻薄膜的热处理工艺对电磁性能和组织结构的影响。通过溅射样品退火处理前后的X射线和TEM分析表明退火后(111)织构加强,堆垛层错减少,晶粒长大,缺陷减少。退火后电阻率下降,各向异性磁阻提高,但软磁性能没有改善,这些是与... 研究了坡莫磁阻薄膜的热处理工艺对电磁性能和组织结构的影响。通过溅射样品退火处理前后的X射线和TEM分析表明退火后(111)织构加强,堆垛层错减少,晶粒长大,缺陷减少。退火后电阻率下降,各向异性磁阻提高,但软磁性能没有改善,这些是与微结构变化相联系的。 展开更多
关键词 坡莫磁阻薄膜 堆垛层错 热处理
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