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Aviza:90奈米DRAM组件、垂直熔炉及原子层沉积系统的佼佼者
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《电子与电脑》 2004年第11期91-91,共1页
因300毫米晶圆在量产上的竞争优势,与芯片应用朝向高阶产品发展的趋势使然,目前全球前段晶圆制造厂皆积极发展300毫米晶圆;对后段封装制造厂商而言,除积极研发先进技术以跟进制程脚步,在产线机台上也需同步配合调整。从上胶膜(Tap... 因300毫米晶圆在量产上的竞争优势,与芯片应用朝向高阶产品发展的趋势使然,目前全球前段晶圆制造厂皆积极发展300毫米晶圆;对后段封装制造厂商而言,除积极研发先进技术以跟进制程脚步,在产线机台上也需同步配合调整。从上胶膜(Taper)、芯片研磨(Grinder)、装配(Mounter)以至于芯片切割(Dicing Saw)等步骤,都需进行机台的调整以配合300毫米晶圆的加大尺寸。同时,负责确保整体制作流程顺畅及运输芯片于每个机台间的晶舟载入台(Load Port)也须加以调整,以协助半导体产业建立起由前端至后端完整的300毫米晶圆生产线。 展开更多
关键词 90奈米DRAM组件 垂直熔炉 原子层沉积系统 存储器 Aviza公司
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