二氧化硅埋层式光波导结构参数及工艺的设计

本文运用光波导理论中的有效折射率法，对二氧化硅埋层式光波导的结构参数进行了计算和设计．根据常规工艺中出现的一些问题，在工艺设计中选择了反应离子刻蚀法和PECVD工艺，并运用计算机模拟技术，对波导的传播性能进行了分析。