功率和埚转对直拉单晶硅漏硅事故率的影响及分析

在CZ法硅单晶生长中,化料过程是原生硅固液形态转换的主要过程,由于化料阶段功率最高,也是最容易发生事故的过程,其中溅硅、漏硅等事故对石墨热场、产品品质、安全等方面有着较大的不良影响。

晶转埚转以及拉速对单晶硅生产过程的影响分析

单晶硅属于当前技术应用当中十分重要的一种半导体材料,其应用在电子信息技术领域以及太阳能技术领域当中的程度不断提升。当前单晶硅材料应用程度提升,也进一步增强了单晶硅在质量上的要求。换言之,单晶硅的杂质要求更高,加强杂质去除或者控制单晶硅当中的杂质氧含量就显得十分重要。本文侧重研究晶埚转以及拉速对单晶硅生产过程的影响分析。

拉晶工艺中直拉硅单晶氧含量的优化研究

采用直拉法拉制硅单晶,在拉晶过程中,研究了不同型号机械泵、等径功率、坩埚转速及投料量等工艺参数对硅单晶氧含量的影响。结果显示:用抽气速率大的80泵,等径功率下降至58kW,坩埚转速降低至6.4rmp/min,投料量降低至68kg,均可以降低硅单晶氧含量,并在此基础上得出合理的拉晶生产工艺。

直拉法硅单晶中晶转对杂质含量的影响

单晶硅是半导体器件、集成电路以及太阳能电池片的重要原材料，对信息技术的发展及新能源光伏行业的发展有着至关重要的影响。直拉法是单晶硅生产制备的重要方法之一，其生长过程涉及到传热、传质等物理过程，同时涉及到化学反应等化学过程。其中生长过程中的晶转、埚转直接影响晶体生长过程中的温度分布、熔体对流，最终影响单晶中的杂质分布及电阻率分布等。本文以晶转、埚转为研究对象，分析其变化与单晶杂质、电阻率等品质的关系，以通过工艺调整，控制单晶品质。