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纳米CMOS工艺下集成电路可制造性设计技术
被引量:
2
1
作者
程玉华
《中国科学(E辑)》
CSCD
北大核心
2008年第6期968-978,共11页
简要讨论纳米CMOS工艺下集成电路的可制造性设计(DFM)技术.首先讨论纳米CMOS中与制造性有关的工艺和器件问题,然后探讨DFM需要的工艺和器件建模工作.最后对包括有可制造性设计技术的集成电路设计流程和能较好地在大规模集成电路设计环...
简要讨论纳米CMOS工艺下集成电路的可制造性设计(DFM)技术.首先讨论纳米CMOS中与制造性有关的工艺和器件问题,然后探讨DFM需要的工艺和器件建模工作.最后对包括有可制造性设计技术的集成电路设计流程和能较好地在大规模集成电路设计环境中开发设计/制造交互界面的有关EDA做简单介绍.
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关键词
可制造性
设计
(DFM)
基于成品率的设计
纳米CMOS集成电路
设计
集成电路
设计
方法学
CMOS
设计
技术平台
原文传递
题名
纳米CMOS工艺下集成电路可制造性设计技术
被引量:
2
1
作者
程玉华
机构
北京大学上海微电子研究院
出处
《中国科学(E辑)》
CSCD
北大核心
2008年第6期968-978,共11页
基金
国家自然科学基金资助项目(批准号:60736030)
文摘
简要讨论纳米CMOS工艺下集成电路的可制造性设计(DFM)技术.首先讨论纳米CMOS中与制造性有关的工艺和器件问题,然后探讨DFM需要的工艺和器件建模工作.最后对包括有可制造性设计技术的集成电路设计流程和能较好地在大规模集成电路设计环境中开发设计/制造交互界面的有关EDA做简单介绍.
关键词
可制造性
设计
(DFM)
基于成品率的设计
纳米CMOS集成电路
设计
集成电路
设计
方法学
CMOS
设计
技术平台
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米CMOS工艺下集成电路可制造性设计技术
程玉华
《中国科学(E辑)》
CSCD
北大核心
2008
2
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