细长锥孔零件精密加工工艺方法

锥型滤波小孔零件是神光-Ⅲ空间滤波器中重要的滤波元件,其加工质量直接影响主激光的滤波效果。该零件为精密细长锥孔结构,孔径与孔深比达1:25、小端口径小于2mm、同轴度要求小于0.005mm、光洁度小于Ra0.2μm。文章基于延伸和复用基准减小误差的加工思路、采用慢走丝切割锥孔的工艺方法,优化工艺路线、装夹方法和工艺参数,实现零件同轴度优于0.004mm、光洁度优于Ra0.1μm。该工艺方法加工质量稳定、生产效率高,满足该重大光学工程项目对精密锥孔类零件多规格、小批量的应用需求。