用计量型AFM对一维纳米基准栅的标定及不确定度估计

利用轻敲模式的计量型AFM对公称栅距为240nm一维基准样板进行了标定,在充分分析AFM的结构和特性、测量过程、数据处理的基础上,得到了基准栅的平均栅距估计值和扩展不确定度。通过全面的不确定度分析,估计值的扩展不确定度达到了亚纳米量级。该不确定度分析表明,对于纳米量级测量,不确定度估计不仅需要全面掌握测量仪器、测量过程中各种测量不确定因素的影响,还需要考虑和估计常规测量过程中可以忽略的二次误差的影响。

穆瓦条纹测量的应用试验

本文在扼要叙述穆瓦条纹光学生成过程和其特点的基础上，着重介绍建立一种投资少的基准栅的方法、穆瓦条纹的计量以及穆瓦条纹测量多种环节中应注意的问题。对一个石膏模型进行了快速的测试，点位精度为±0.13mm。

云纹法及其在孔边应变检测中的应用

本文结合平行云纹和转角云纹的特点讨论了普通密栅云纹实验法在干涉孔孔边应变检测中的应用,给出了依据云纹计算干涉配合孔或冷挤压孔左右两边X轴上的切向应变和径向应变的计算公式。