基于平面线圈的基波脉振磁场构造方法研究

为了减小电磁式时栅位移传感器的原始误差,提出了一种基于平面线圈的基波脉振磁场构造方法。通过研究现有电磁式时栅磁场构造方法和平面线圈磁场分布特性,利用各次谐波畸变率THD(Total Harmonic Distortion)最小的优化算法,得到平面线圈最优化布置参数,并且在数值分析和有限元分析软件中得到了验证。根据这些参数设置,设计了基于多匝方形平面线圈的新型电磁式时栅位移传感器。在150 mm量程内,新型时栅原始误差为-32μm^23μm,较现有电磁式时栅位移传感器减小了42.3%。