MPCVD中基片加热材料的温度场摄动模型研究

为改进微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)装置中的加热系统 ,提出了用基片加热材料替代常规加热方式的新的技术路线 ;建立了基片加热材料的微波轴对称温度场模型并得到了一般解 ;通过对基片加热材料的微波设计 ,在MPCVD装置中获得大于基片台直径的均匀温度分布区。

微波等离子CVD金刚石设备中基片加热材料的三维温度场型研究

在微波等离子ＣＶＤ设备中，微波电磁场的不均匀分布将导致等离子球和基片的温度不均匀，从而降低ＣＶＤ金刚石的质量，因而基片加热是需要的。材料的吸收微波能的能力同微波频率、电场强度、材料的介电常数和介电损耗及材料体积相关，材料的介电常数、介电损耗、导热率又同温度相关。基于热力学理论，本文用强上微波能的ＳｉＣ材料作了基片加热材料，放在微波等离子腔的基片下，研究了三维轴对称温度场模型。

基片加热下准分子激光诱导硅掺硼实验研究

基片加热下准分子激光诱导硅掺硼实验研究钱育军，童小梅，潘佰良，汪永江（浙江大学物理系，杭州３１００２７）制作ＰＮ结的传统方法是热扩散及离子注入，但装置复杂，步骤繁复。激光有着能量高度集中的优越性，故可以使半导体表面的极浅层迅速熔化，是一种较理想的材料...

多电极加热法在加固液晶显示器中的应用

为了使液晶显示器可以在低温等恶劣环境下稳定可靠地工作,需要对液晶显示器进行加固设计。针对传统ITO膜加热模式中经常造成的热场不均匀而导致的"爆屏"现象,文章利用有限元仿真结果并基于热设计基本方法,提出了一种采用多电极加热的新型加热模式。在大量实验的基础上,实验样机不仅实现了环境温度在-50℃时的迅速启动,并避免了在加热过程中可能出现的"爆屏"现象。这种设计拓宽了液晶显示器的工作范围,取得了良好的应用效果。