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砂轮划片机划切技术的研究
被引量:
11
1
作者
甄万财
《电子工业专用设备》
2004年第9期68-71,共4页
砂轮划片机划切技术的研究和应用直接关系到设备应用的好坏。对划切中关键的参数主轴转速、划切速度、基片固定、刀片等进行了系统分析研究,具有指导性地提出了选择该类参数的方法。
关键词
主轴
刀片
冷却
基片固定
划切速度
下载PDF
职称材料
题名
砂轮划片机划切技术的研究
被引量:
11
1
作者
甄万财
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2004年第9期68-71,共4页
文摘
砂轮划片机划切技术的研究和应用直接关系到设备应用的好坏。对划切中关键的参数主轴转速、划切速度、基片固定、刀片等进行了系统分析研究,具有指导性地提出了选择该类参数的方法。
关键词
主轴
刀片
冷却
基片固定
划切速度
Keywords
Spindle
Blade
Coolant
Substrate mounting
Dicing speed
分类号
TN305.1 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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被引量
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1
砂轮划片机划切技术的研究
甄万财
《电子工业专用设备》
2004
11
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