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双离子注入增强退火效应的研究
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作者 朱锦良 程东方 +1 位作者 王良 蔡仁康 《应用科学学报》 CAS CSCD 1989年第1期57-60,共4页
本文介绍氩、硼离子注入的增强退火效应.四探针测试显示在500℃左右有低的薄层电阻R值,SEM观察和拉曼谱观察表明,注入区的晶格损伤得到了很好的恢复.
关键词 双离子注入 增强退火效应 氩 硼
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