纳米精度运动台电机伺服参数校准方法研究

多自由度纳米精度工件台的精度直接受电机力常数和增益平衡矩阵的影响,需要进行周期性测试。因实际电机负载与理论计算负载有差异且随时间发生改变,导致其电机力常数变化,直接采用理论计算负载会降低工件台精度。采用传递函数计算电机实际负载,建立电机负载与电机力常数间的关系,实现了电机力常数的校准。引入串扰系数描述不同电机轴间的串扰,并提出了增益平衡矩阵的详细计算方法。实验验证了该方法的正确性,并实现了工件台10nm的定位精度。