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金刚石薄膜的红外增透性
被引量:
2
1
作者
杨国伟
毛友德
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1992年第2期148-150,182,共4页
以 CH_3COCH_3/H_2为工作气体,用 HFCVD 方法,制备出适用于红外光学的金刚石薄膜。用 SEM 观察到了所制备膜的表面晶形。讨论了金刚石薄膜的红外增透性。
关键词
金刚石薄膜
表面晶形
红外
增透性
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职称材料
金刚石薄膜的红外增透性质
2
作者
金曾孙
吕宪义
+2 位作者
于三
杨钧
邹广田
《真空》
CAS
北大核心
1990年第5期21-24,共4页
本文研究了用热解化学气相沉积方法在硅单晶衬底上制备的金刚石膜对硅衬底的红 外透过率的影响,发现有些金刚石薄膜具有明显的红外增透性质。
关键词
金刚石薄膜
红外
增透性
气相沉积
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职称材料
等离子体增强原子层沉积增透阻隔膜的研究
被引量:
3
3
作者
林晶
于贵文
+3 位作者
孙智慧
张莉
巩雪
钱锋
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第6期566-570,共5页
高阻隔高透光率的柔性复合材料在包装和电子封装领域具有很高的应用价值。本文采用等离子增强原子层沉积技术在PET基体上制备了多层结构的增透阻隔膜,研究了等离子增强原子层沉积制备氧化硅和氮化硅的工艺参数,利用光学模拟软件设计出...
高阻隔高透光率的柔性复合材料在包装和电子封装领域具有很高的应用价值。本文采用等离子增强原子层沉积技术在PET基体上制备了多层结构的增透阻隔膜,研究了等离子增强原子层沉积制备氧化硅和氮化硅的工艺参数,利用光学模拟软件设计出所需透过率的膜层结构。结果表明:等离子体增强原子层沉积制备的薄膜原子力显微镜表面形貌晶粒分布均匀,薄膜致密,红外光谱显示制备的薄膜为高纯度的SiO_(2)和Si_(3)N_(4),薄膜的透水率降低了2个数量级,可见光范围透过率可达到94%。
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关键词
等离子体
增
强原子层沉积
PET
阻隔
性
增透性
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职称材料
硫化锌表面微结构抗反射特性的理论模拟及制备
4
作者
罗兴
李明
毛建勇
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第7期67-75,共9页
针对硫化锌表面微纳米结构在中远红外波段7~10μm的增透性能开展理论及实验研究。基于时域有限差分软件建立物理模型,理论研究微结构参数变化对减反性能产生的影响,依据红外光谱值分布图宏观展示微结构参数与透过率的关系。利用飞秒激...
针对硫化锌表面微纳米结构在中远红外波段7~10μm的增透性能开展理论及实验研究。基于时域有限差分软件建立物理模型,理论研究微结构参数变化对减反性能产生的影响,依据红外光谱值分布图宏观展示微结构参数与透过率的关系。利用飞秒激光在空气环境中制备不同规格的微纳米结构阵列,通过实验实现了设计的结构。分别测试样品在中远红外波段7~10μm范围内透过率,其中8μm的网格结构在8.5~10μm波段的平均透过率可提高4%,在10μm波长处透过率提升7%。实验结果表明所制备的结构具有良好的抗反射性能。对比结果显示实验所示透过率变化趋势与仿真结果具有一致性。
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关键词
飞秒激光
时域有限差分法
增透性
抗反射微结构
硫化锌
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职称材料
金刚石薄膜结构和光学性质的研究
5
作者
宋慧
《长春师范学院学报》
1997年第5期27-31,共5页
采用电子辅助热丝CVD方法在Si衬底上制备出金刚石薄膜,用扫描电子显微镜(SEM).Raman光谱和红外吸收光谱等研究方法对金刚石薄膜的结构及其红外增透性进行了详尽的研究。
关键词
金刚石薄膜
结构
红外
增透性
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职称材料
抗菌肽抗病毒作用机制研究进展
被引量:
4
6
作者
王小方
李燕
+1 位作者
冯红燕
焦路阳
《新乡医学院学报》
CAS
2021年第9期884-885,889,共3页
抗菌肽是一类广泛存在于生物界的生物活性肽,具有抗细菌、真菌、病毒、病原虫、肿瘤等多种生物活性,主要通过膜渗透、胞内结合、免疫调节等方式发挥作用。近年来,由于各类病毒暴发,抗菌肽的抗病毒作用及其机制再次受到关注。本文主要阐...
抗菌肽是一类广泛存在于生物界的生物活性肽,具有抗细菌、真菌、病毒、病原虫、肿瘤等多种生物活性,主要通过膜渗透、胞内结合、免疫调节等方式发挥作用。近年来,由于各类病毒暴发,抗菌肽的抗病毒作用及其机制再次受到关注。本文主要阐述抗菌肽的抗病毒作用及其机制研究进展,为研发新型抗病毒药物提供思路。
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关键词
抗菌肽
抗病毒
家蝇抗真菌肽-1A
杀菌
性
/
透
通
性
增
蛋蛋白
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职称材料
金刚石自支撑膜衬底制备AlN薄膜的性能
被引量:
2
7
作者
张营营
李成明
+3 位作者
陈良贤
刘金龙
黑立富
吕反修
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第8期1-5,共5页
采用射频磁控反应溅射法在金刚石自支撑膜衬底上沉积了AlN薄膜,XRD结果表明得到了(002)面择优取向的AlN薄膜;AFM的表面形貌结果显示薄膜表面平整,晶粒均匀,表面粗糙度为2.97 nm。XPS分析结果表明,离子剥蚀2.1 nm后Al/N原子百分比接近于1...
采用射频磁控反应溅射法在金刚石自支撑膜衬底上沉积了AlN薄膜,XRD结果表明得到了(002)面择优取向的AlN薄膜;AFM的表面形貌结果显示薄膜表面平整,晶粒均匀,表面粗糙度为2.97 nm。XPS分析结果表明,离子剥蚀2.1 nm后Al/N原子百分比接近于1∶1;结合红外透过曲线和纳米力学探针测试,表明AlN薄膜在1500~800 cm-1波段对金刚石膜有约14%的增透作用,其平均硬度为21.5 GPa,平均弹性模量为233.3 GPa。
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关键词
射频磁控反应溅射
金刚石自支撑膜
ALN
增透性
原文传递
题名
金刚石薄膜的红外增透性
被引量:
2
1
作者
杨国伟
毛友德
机构
合肥工业大学应用物理系
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1992年第2期148-150,182,共4页
文摘
以 CH_3COCH_3/H_2为工作气体,用 HFCVD 方法,制备出适用于红外光学的金刚石薄膜。用 SEM 观察到了所制备膜的表面晶形。讨论了金刚石薄膜的红外增透性。
关键词
金刚石薄膜
表面晶形
红外
增透性
Keywords
Thin Diamond Film
Surface Crystal Formation
Infrarcd Transmissivity
分类号
TN304.024 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
金刚石薄膜的红外增透性质
2
作者
金曾孙
吕宪义
于三
杨钧
邹广田
机构
吉林大学原子与分子物理研究所
出处
《真空》
CAS
北大核心
1990年第5期21-24,共4页
文摘
本文研究了用热解化学气相沉积方法在硅单晶衬底上制备的金刚石膜对硅衬底的红 外透过率的影响,发现有些金刚石薄膜具有明显的红外增透性质。
关键词
金刚石薄膜
红外
增透性
气相沉积
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
等离子体增强原子层沉积增透阻隔膜的研究
被引量:
3
3
作者
林晶
于贵文
孙智慧
张莉
巩雪
钱锋
机构
哈尔滨商业大学包装科学与工程技术实验室
东莞市德派精密机械有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第6期566-570,共5页
基金
黑龙江省教育厅省属高校科技成果研发支持计划(TSTAU-R2018009)。
文摘
高阻隔高透光率的柔性复合材料在包装和电子封装领域具有很高的应用价值。本文采用等离子增强原子层沉积技术在PET基体上制备了多层结构的增透阻隔膜,研究了等离子增强原子层沉积制备氧化硅和氮化硅的工艺参数,利用光学模拟软件设计出所需透过率的膜层结构。结果表明:等离子体增强原子层沉积制备的薄膜原子力显微镜表面形貌晶粒分布均匀,薄膜致密,红外光谱显示制备的薄膜为高纯度的SiO_(2)和Si_(3)N_(4),薄膜的透水率降低了2个数量级,可见光范围透过率可达到94%。
关键词
等离子体
增
强原子层沉积
PET
阻隔
性
增透性
Keywords
Plasma-enhanced atomic layer deposition
PET
Barrier
Anti-reflection
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
硫化锌表面微结构抗反射特性的理论模拟及制备
4
作者
罗兴
李明
毛建勇
机构
中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室
中国科学院大学
西安交通大学电子科学与工程学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第7期67-75,共9页
基金
国家自然科学基金(No.62275266)
国防科技基础加强计划技术领域基金项目(No.2020-JCJQ-JJ-514)
陕西省重点产业创新链(群)(No.2020ZDLGY01-06)。
文摘
针对硫化锌表面微纳米结构在中远红外波段7~10μm的增透性能开展理论及实验研究。基于时域有限差分软件建立物理模型,理论研究微结构参数变化对减反性能产生的影响,依据红外光谱值分布图宏观展示微结构参数与透过率的关系。利用飞秒激光在空气环境中制备不同规格的微纳米结构阵列,通过实验实现了设计的结构。分别测试样品在中远红外波段7~10μm范围内透过率,其中8μm的网格结构在8.5~10μm波段的平均透过率可提高4%,在10μm波长处透过率提升7%。实验结果表明所制备的结构具有良好的抗反射性能。对比结果显示实验所示透过率变化趋势与仿真结果具有一致性。
关键词
飞秒激光
时域有限差分法
增透性
抗反射微结构
硫化锌
Keywords
Femtosecond laser
Finite-difference time-domain
Antireflective property
Antireflective microstructure
Zinc sulfide
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
金刚石薄膜结构和光学性质的研究
5
作者
宋慧
出处
《长春师范学院学报》
1997年第5期27-31,共5页
文摘
采用电子辅助热丝CVD方法在Si衬底上制备出金刚石薄膜,用扫描电子显微镜(SEM).Raman光谱和红外吸收光谱等研究方法对金刚石薄膜的结构及其红外增透性进行了详尽的研究。
关键词
金刚石薄膜
结构
红外
增透性
分类号
O613.7 [理学—无机化学]
下载PDF
职称材料
题名
抗菌肽抗病毒作用机制研究进展
被引量:
4
6
作者
王小方
李燕
冯红燕
焦路阳
机构
新乡医学院第一附属医院检验科
新乡医学院第一附属医院门诊部
出处
《新乡医学院学报》
CAS
2021年第9期884-885,889,共3页
基金
国家科技支撑计划项目(编号:2015BAI32H00)
河南省医学科技攻关计划(联合共建)项目(编号:LHGJ20190455)。
文摘
抗菌肽是一类广泛存在于生物界的生物活性肽,具有抗细菌、真菌、病毒、病原虫、肿瘤等多种生物活性,主要通过膜渗透、胞内结合、免疫调节等方式发挥作用。近年来,由于各类病毒暴发,抗菌肽的抗病毒作用及其机制再次受到关注。本文主要阐述抗菌肽的抗病毒作用及其机制研究进展,为研发新型抗病毒药物提供思路。
关键词
抗菌肽
抗病毒
家蝇抗真菌肽-1A
杀菌
性
/
透
通
性
增
蛋蛋白
分类号
R57 [医药卫生—消化系统]
下载PDF
职称材料
题名
金刚石自支撑膜衬底制备AlN薄膜的性能
被引量:
2
7
作者
张营营
李成明
陈良贤
刘金龙
黑立富
吕反修
机构
北京科技大学材料科学与工程学院
出处
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第8期1-5,共5页
基金
国家"863"计划支持项目(2008AA03Z408)
文摘
采用射频磁控反应溅射法在金刚石自支撑膜衬底上沉积了AlN薄膜,XRD结果表明得到了(002)面择优取向的AlN薄膜;AFM的表面形貌结果显示薄膜表面平整,晶粒均匀,表面粗糙度为2.97 nm。XPS分析结果表明,离子剥蚀2.1 nm后Al/N原子百分比接近于1∶1;结合红外透过曲线和纳米力学探针测试,表明AlN薄膜在1500~800 cm-1波段对金刚石膜有约14%的增透作用,其平均硬度为21.5 GPa,平均弹性模量为233.3 GPa。
关键词
射频磁控反应溅射
金刚石自支撑膜
ALN
增透性
Keywords
RF reactive magnetron sputtering
diamond film
AlN
antireflective effect
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
O484.4 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
金刚石薄膜的红外增透性
杨国伟
毛友德
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1992
2
下载PDF
职称材料
2
金刚石薄膜的红外增透性质
金曾孙
吕宪义
于三
杨钧
邹广田
《真空》
CAS
北大核心
1990
0
下载PDF
职称材料
3
等离子体增强原子层沉积增透阻隔膜的研究
林晶
于贵文
孙智慧
张莉
巩雪
钱锋
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021
3
下载PDF
职称材料
4
硫化锌表面微结构抗反射特性的理论模拟及制备
罗兴
李明
毛建勇
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
5
金刚石薄膜结构和光学性质的研究
宋慧
《长春师范学院学报》
1997
0
下载PDF
职称材料
6
抗菌肽抗病毒作用机制研究进展
王小方
李燕
冯红燕
焦路阳
《新乡医学院学报》
CAS
2021
4
下载PDF
职称材料
7
金刚石自支撑膜衬底制备AlN薄膜的性能
张营营
李成明
陈良贤
刘金龙
黑立富
吕反修
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
原文传递
已选择
0
条
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
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