基于声体波延迟线的雷达抗地杂波改善因子测试方法

提出了一种基于声体波微波延迟线和上下变频技术模拟固定地物回波信号的雷达抗地杂波改善因子测试方法,以其设计并制作了用于雷达抗地杂波改善因子测试的目标模拟器。给出了传统抗地杂波改善因子测试方法和目标模拟器测试方法在两个典型雷达上进行的静、动态抗地杂波改善因子对比测试实例。结果表明使用目标模拟器的测试方法可以满足测试精度要求,且与传统测试方法相比,具有适用范围广,对测试场地、设备要求低,操作简便等优点。

复合氮化铝压电薄膜研制及其应用

采用中频(MF,40 kHz)双S枪磁控反应溅射制备出了氮化铝(AlN)压电薄膜;采用直流磁控溅射法制作了Mo电极薄膜;采用脉冲DC磁控溅射Au、Cr、Al靶分别制作Au/Cr底电极薄膜及Al/Cr顶电极薄膜。通过对AlN压电薄膜、Mo及Au电极薄膜进行了X线衍射(XRD)分析,结果表明,复合AlN压电薄膜(002)面、Mo薄膜(110)面及Au薄膜(111)面择优取向优良,说明选用Al/Cr/AlN/Au/Cr/YAG复合结构压电薄膜能研制出Ku波段及K波段声体波微波延迟线(BAWDL),其Ku及K波段BAWDL器件插入损耗分别低至43.7 dB、54.6 dB。