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MEMS光声气体传感器光声腔的研究 被引量:6
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作者 王建业 纪新明 +2 位作者 吴飞蝶 周嘉 黄宜平 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第2期86-88,共3页
光声气体传感器在微量气体探测方面具有许多优势,光声气体传感器的MEMS化可降低成本,提高传感器性能,具有重要的实际意义。依据光声传感器的原理,结合MEMS加工技术,研究制作了一种光声腔,同时,进行了一定的理论模拟,为实现光声气体传感... 光声气体传感器在微量气体探测方面具有许多优势,光声气体传感器的MEMS化可降低成本,提高传感器性能,具有重要的实际意义。依据光声传感器的原理,结合MEMS加工技术,研究制作了一种光声腔,同时,进行了一定的理论模拟,为实现光声气体传感器的MEMS化打下重要基础。 展开更多
关键词 声气体传感器 微机电技术
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谐振腔声气体传感器的电路模型与计算机仿真
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作者 章婷 《计算机与数字工程》 2009年第6期159-162,共4页
提出了一种谐振腔声气体传感器的等效电路修正模型。该模型将FMYB和Babak模型相结合,运用谐振腔与传输线的相似性、Babak模型利用LC回路等效声谐振腔的谐振频率,电阻变化模拟气体粘滞性和反射界面损失的基础上,提出将谐振腔气流损失... 提出了一种谐振腔声气体传感器的等效电路修正模型。该模型将FMYB和Babak模型相结合,运用谐振腔与传输线的相似性、Babak模型利用LC回路等效声谐振腔的谐振频率,电阻变化模拟气体粘滞性和反射界面损失的基础上,提出将谐振腔气流损失等效为一定大小的负载电阻,使得新模型能够精确模拟不同气体浓度的声阻抗和谐振频率变化。实验表明:新模型在38.5~41.0KHz频率范围内不仅能模拟声气体传感器的阻抗变化趋势,而且能精确地计算声气体传感器的阻抗值,从而得出相应的气体浓度变化。 展开更多
关键词 声气体传感器 电路模型 仿真
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声表面波气体传感器的研究进展 被引量:10
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作者 杨楷 李志刚 +1 位作者 景玉鹏 陈大鹏 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2008年第9期26-30,共5页
介绍了声表面波气体传感器的基本结构和研究进展,指出了其存在的主要问题及解决方法:如温度控制电路可解决温度的影响;仿钻结晶碳覆盖层可解决湿度影响;人工神经网络技术可解决响应时间;监视声表面波的频率和振幅在高次谐波下的变化,可... 介绍了声表面波气体传感器的基本结构和研究进展,指出了其存在的主要问题及解决方法:如温度控制电路可解决温度的影响;仿钻结晶碳覆盖层可解决湿度影响;人工神经网络技术可解决响应时间;监视声表面波的频率和振幅在高次谐波下的变化,可解决在低浓度工作时的灵敏度等问题。展望了声表面波气体传感器的发展趋势,认为该传感器的研究价值很高,市场前景广阔。 展开更多
关键词 电子技术 表面波气体传感器 综述 响应时间 灵敏度 无源无线传感技术
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基于电活性高分子声表面波CO气体传感器研究 被引量:2
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作者 张朋 陈明 +1 位作者 何鹏举 马戎 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第5期709-712,716,共5页
为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,对基于聚苯胺敏感膜的多层结构声表面波气体传感器进行了试验与理论研究,并推导了声表面波气体传感器的敏感作用公式。传感器采用声表面波双通道带延迟线的谐振器结构,将电活性... 为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,对基于聚苯胺敏感膜的多层结构声表面波气体传感器进行了试验与理论研究,并推导了声表面波气体传感器的敏感作用公式。传感器采用声表面波双通道带延迟线的谐振器结构,将电活性高分子CO气体敏感材料(掺杂有In2O3的聚苯胺)覆盖在一条延迟线路上形成敏感膜(0.5~1.2μm)。将此声表面波CO气体传感器放在CO气体中在-40~+85℃范围内进行测试实验,实验结果显示,该声表面波CO传感器的敏感性好,敏感速度和恢复速度快,精度高。 展开更多
关键词 表面波CO气体传感器 电活性高分子 聚苯胺 多层结构表面波器件
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基于指条厚度优化的冷凝式声表面波气体传感器灵敏度提升方法
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作者 邹亮桃 刘久玲 +3 位作者 游然 刘明华 任伟 何世堂 《应用声学》 CSCD 北大核心 2022年第3期412-420,共9页
该文通过对声表面波谐振器指条厚度的优化提升了冷凝式气体传感器的灵敏度。基于流固耦合理论,利用有限元商业软件建立了有液膜负载和无液膜负载下的多物理场三维周期模型,并提取了相应的耦合模参量,利用耦合模模型及P矩阵级联技术,计... 该文通过对声表面波谐振器指条厚度的优化提升了冷凝式气体传感器的灵敏度。基于流固耦合理论,利用有限元商业软件建立了有液膜负载和无液膜负载下的多物理场三维周期模型,并提取了相应的耦合模参量,利用耦合模模型及P矩阵级联技术,计算了不同指条厚度下液膜负载引起的传感器响应,获得了冷凝式声表面波气体传感器灵敏度随指条厚度的变化关系。实验中制备了6种不同电极厚度的声表面波谐振器,并利用甲基膦酸二甲酯实验样品完成了传感器的响应测试,验证了理论分析的正确性。结果表明,冷凝式声表面波气体传感器的灵敏度随指条厚度的增加先变大后减小,最优归一化电极厚度为6.4%7.6%之间。该研究结果对进一步提升传感器灵敏度具有重要意义。 展开更多
关键词 冷凝式表面波气体传感器 流固耦合理论 指条厚度优化 灵敏度
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非晶固体光敏传感器技术(下)
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作者 史永基 史东军 史战军 《传感器世界》 2003年第1期8-17,共10页
全文描述了各种非晶固体光敏传感器技术以及它们的结构、工作原理和应用。本文主要介绍非晶玻璃合金声-光气体传感器、a-Si:H光电传感器及电传感器光纤接口技术。
关键词 光敏 传感器 非晶固体 非晶玻璃合金-光气体传感器 a-Si:H光电传感器
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《压电与声光》2010年第32卷总索引
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《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第6期I0001-I0015,共15页
关键词 压电陶瓷 压电 表面波气体传感器 总索引 2010
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多原子分子气体中声波弛豫衰减谱的重建算法 被引量:6
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作者 鄢舒 王殊 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期4282-4291,共10页
提出了一种宽频率范围的弛豫衰减谱重建算法,并采用基于SSH理论的方法和基于实验数据的方法估计气体的有效弛豫时间.通过该算法得到了包括氮气、甲烷、氧气、二氧化碳和水蒸气在内的多种多原子分子混合气体的声衰减谱,研究的声波频率范... 提出了一种宽频率范围的弛豫衰减谱重建算法,并采用基于SSH理论的方法和基于实验数据的方法估计气体的有效弛豫时间.通过该算法得到了包括氮气、甲烷、氧气、二氧化碳和水蒸气在内的多种多原子分子混合气体的声衰减谱,研究的声波频率范围从1Hz到10GHz.与预测弛豫衰减的DL模型的结果比较表明,该算法获得的弛豫衰减谱结果与之相符,其预测精度取决于对分子弛豫过程的正确认识.另外该算法还被用于几种混合气体中水蒸气和二氧化碳含量的分析,其结果表明弛豫衰减谱可被用于定量分析多原子分子气体的成分组成,这使得实现高灵敏度地检测气体成分的智能声气体传感技术成为可能. 展开更多
关键词 弛豫衰减 有效弛豫时间 重建算法 声气体传感器
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Viscoelastic Analysis of a Surface Acoustic Wave Gas Sensor Coated by a New Deposition Technique 被引量:3
9
作者 Wen Wang Shi-tang He Yong Pan 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第1期47-53,共7页
An analysis of the response of surface acoustic wave sensors coated with polymer film based on new coating deposition (self-assemble and molecularly imprinted technology) is described and the response formulas are h... An analysis of the response of surface acoustic wave sensors coated with polymer film based on new coating deposition (self-assemble and molecularly imprinted technology) is described and the response formulas are hence deduced. Using the real part of shear modulus, the polymer can be classified into three types: glassy film, glassy-rubbery film and rubbery film, Experimental results show that the attenuation response is in better consistence with the simulation than in Martin's theory, but the velocity response does not accord with the calculation exactly. Maybe it is influenced by the experimental methods and environment. In addition, simulations of gas sorption for polymer films are performed. As for glassy film, the SAW sensor response increases with increasing fihn thickness, and the relationship between the sensor response and the concentration of gas is pretty linear, while as for glassy-rubbery flint and rubbery film, the relationship between the sensor sensitivity anti concentration of gas is very complicated. The ultimately calculated results indicate that the relationship between the sensor response and frequency is not always linear due to the viscoelastic prooerties of the polymer. 展开更多
关键词 Surface acoustic wave Gas sensor POLYMER Viscoelastic property
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《舰船科学技术》2006年总目次
10
《舰船科学技术》 北大核心 2006年第6期139-144,共6页
关键词 舰船科学技术 表面波气体传感器 目次
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传感器
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《电子科技文摘》 1999年第4期78-80,共3页
Y98-61287-435 9904981压电制动器/传感器最佳尺寸和定位的实际确定=Re-alistic determination of the optimal size and location ofpiezoelectric actuator/sensors[会,英]/Aldraihem,O.J.& Singh,T.//1997 IEEE International Co... Y98-61287-435 9904981压电制动器/传感器最佳尺寸和定位的实际确定=Re-alistic determination of the optimal size and location ofpiezoelectric actuator/sensors[会,英]/Aldraihem,O.J.& Singh,T.//1997 IEEE International Conference onControl Applications.—435~440(HG) 展开更多
关键词 同步传感器 传感器技术 有源象素图象传感器 表面波气体传感器 制动器 最佳尺寸 数据融合 光纤温度传感器 表面波传感器 压电
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基于光声光谱的SF_6分解组份在线监测装置 被引量:4
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作者 张英 余鹏程 +1 位作者 李军卫 张晓星 《武汉大学学报(工学版)》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期105-109,共5页
概述了光声光谱气体传感技术的基本原理,并基于光声光谱理论研制出一种六氟化硫分解组份SO2和CF4的在线监测装置.详细阐述了该在线监测装置的系统结构及其核心单元红外光声气体传感器的构成.选定了SO2和CF4组份的最优吸收峰,采用该装置... 概述了光声光谱气体传感技术的基本原理,并基于光声光谱理论研制出一种六氟化硫分解组份SO2和CF4的在线监测装置.详细阐述了该在线监测装置的系统结构及其核心单元红外光声气体传感器的构成.选定了SO2和CF4组份的最优吸收峰,采用该装置对以SF6为背景气体的不同体积分数的SO2和CF4标准气体的光声信号幅值进行了测定,并测定了相同试验条件下的噪声水平,得到了该装置对SO2和CF4气体的最低检测限.同时,分析了温度对该在线监测装置的影响,并对该在线监测装置提出了改进措施.该在线监测装置的研究为基于SF6气体特征分解组份的设备内绝缘故障诊断及状态评估奠定了基础. 展开更多
关键词 光谱法 红外光声气体传感器 SF6分解组份 在线监测
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