声表面波加速度计静电式力反馈闭环方案研究

随着微机械结构工艺的改进,声表面波静电力闭环方案必会以其不可替代的优势成为一个发展方向。本文阐述了静电力发生器的结构,提出并研究了用脉宽调制反馈力线性化静电力发生器的方法。结合声表面波器件的实际加工技术,对声表面波加速度计静电式力反馈方案进行了详细分析,并通过仿真给出了该方案中系统参数的范围以及最优参数下的系统特性曲线。

用声表面波滤波器为悬臂梁式SAW加速度计增添加速度方向判断功能

加速度是矢量,所以在测量加速度大小的同时,给出加速度的方向是非常必要的。但传统SAW加速度计设计忽视了对被测加速度方向的判断问题。声表面波滤波器(SAWF)是一种性能优良的新型电子器件,本文基于SAW滤波器的带通滤波性质,设计了一种新的SAW加速度计系统,它不仅实现了判断加速度方向的客观需求,而且为加速度计基本量程的扩大创造了条件。

用静电力和SAW滤波器对悬臂梁式SAW加速度计的扩程及其计量标定

提出了用声表面波滤波器测知加速度方向和大小的原理和方法,研究了电容器中的静电吸引力对加速度计敏感质量块的位置稳定作用,以及用它扩大悬臂梁式加速度计量程的原理。还对静电力扩程之后,加速度计测量值的校准、计量标定等问题进行了有益地探讨,针对电容器静电力的非线性扩程特点,提出了查询表式的在线实时测量换算读值方案。