一种横向耦合改进型结构极窄带声表面波滤波器研究

该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插入损耗约为6 dB的极窄带声表面波滤波器并进行验证。结果表明,中心耦合条开腔结构的声表面波滤波器的相对带宽达到7.2‰,与不开腔结构5.2‰相对带宽相比,提升了2‰。这说明横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构变化,能改变极窄带声表面波滤波器的相对带宽。

具有片上电感的改进型梯形声表面波滤波器

针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和利用纵向耦合双模谐振器型滤波器(DMS)特殊接地结构相结合的电路拓扑结构,有助于提高带外抑制和设计灵活性。在标准的42°Y-X钽酸锂(LiTaO_(3))基板上制作滤波器,通过仿真分析得到中心频率2580 MHz、带宽50 MHz、插入损耗小于2.5 dB的高阶梯形射频SAW滤波器的最优拓扑结构。测试结果表明,通过改变电路拓扑结构关键参数和引入新的传输零点,可改善在高频段内的带外抑制特性。

声表面波滤波器温度敏感性仿真研究

针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的温度敏感性,实现不同温度作用下SAW滤波器频率响应曲线、频率温度系数(TCF)值、损耗、带宽及带外抑制等性能的综合分析。通过41°Y-X LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW滤波器的优化设计与研制,其设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。

宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计与优化

提出了一种宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计方法。通过研究铌酸锂衬底不同欧拉角、不同电极材料和厚度对声表面波谐振器频率响应和杂散抑制的影响,确定了宽带温度补偿型声表面波滤波器的最佳切向和电极结构。所制备的宽带声表面波滤波器的温度系数优于-18.9×10^(-6)/℃,-3 dB相对带宽为7.84%,插入损耗为0.93 dB,展现出良好的带外抑制。

新型波浪加权式高性能声表面波滤波器设计

射频滤波器是移动通信中信号传输频率选择、噪声滤除干扰的不可或缺的关键器件。压电薄膜多层衬底结构的声表面波滤波器因具有高矩形度、低损耗等优点在近年来被广泛应用,但其谐振器固有的横向模式会极大影响滤波器性能。为此提出了一种新型的波浪加权式叉指设计的声表面波谐振器,该谐振器通过使用正弦函数作为交叠长度加权包络曲线,能够在不恶化谐振器性能的前提下有效抑制谐振器中的横向模式。将波浪加权式叉指设计的谐振器按照梯形拓扑结构级联,设计并制备了一款尺寸为1.1 mm×0.9 mm×0.55 mm的高性能滤波器。该滤波器中心频率为2.593 GHz,相对带宽为8.8%,插入损耗为0.52 dB。实物测试结果与仿真基本一致。

采用还原基片的声表面波滤波器可靠性研究

分析了压电基片热释电效应产生的机理和使用中带来的问题,采用还原基片(以下简称黑片)可以有效提高声表面波滤波器的抗静电能力。针对采用黑片工艺的声表面波滤波器可靠性展开研究:选取不同种类的黑片,进行不同芯片尺寸的声表面波滤波器粘接固化、筛选试验和装配后的剪切/粘接强度测试,并进行结构分析、鉴定检验和元器件评估。试验结果表明,黑片满足声表面波滤波器的高可靠性要求,对后续在高可靠声表面波滤波器中的应用具有指导意义。

声表面波波导耦合双模谐振窄带滤波器

本文利用集总参数等效电路模型计算了声表面波波导耦合双模谐振窄带滤波器的频率响应。讨论了谐振器各设计参量对滤波器性能的影响。在Ｘ－１１２°ＹＬｉＴａＯ＿３基片上实验制作了中心频率１１４ＭＨｚ左右，Δｆ＿（－３ｄＢ）分别为７０ｋＨｚ和４０ｋＨｚ的二极和四极窄带滤波器。对二极滤波器，阻带抑制小于一３０ｄＢ；对四极滤波器，阻带抑制小于一５０ｄＢ；匹配后插损３ｄＢ。理论计算与实验结果一致。

高阻带抑制宽带低损耗声表面波滤波器研究

基于分布间隙纵向耦合五换能器结构,加入谐振器单元,采用41°Y-X LiNbO_3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232 MHz,3dB带宽23.2 MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗为-1.9dB,相对带宽达到10%,矩形系数2.2,阻带抑制大于50dB,产品综合性能指标优异,有很好的实用性。

GSM用低损耗声表面波滤波器的设计

报道了双模声表面波滤波器（ Ｓ Ａ Ｗ Ｆ）的研究结果和设计出的 Ｇ Ｓ Ｍ 用９０２５ Ｍ Ｈｚ的 Ｓ Ａ Ｗ Ｆ。对双膜 Ｓ Ａ Ｗ Ｆ 的基本原理和分析方法进行了描述，并给出理论模拟结果，对几个关键参数进行了比较计算。研究表明，双模 Ｓ Ａ Ｗ Ｆ 具有低损耗、宽带的特性， 较好地满足了 Ｇ Ｓ Ｍ 用９０２５ Ｍ Ｈｚ的 Ｓ Ａ Ｗ Ｆ电性能要求。

一种窄带温补型声表面波滤波器

该文介绍了一种频率温度系数接近0的窄带温补型声表面波滤波器。该滤波器采用黑化的42°Y-X钽酸锂为衬底,温度补偿层材料采用二氧化硅薄膜,利用化学机械抛光二氧化硅薄膜法获得了平坦表面形貌。制作了温补型声表面波滤波器样品并进行了测试。测试结果表明,该温补型声表面波滤波器的中心频率约1360 MHz,在-55~85℃内频率漂移仅约390 kHz,频率温度系数约-2×10^-6/℃,插入损耗约1.3 dB。

宽带低损耗声表面波滤波器

介绍了利用在３６°Ｙ－ＸＬｉＴａＯ３、６４°Ｙ－Ｘ ＬｉＮｂＯ３、４１°Ｙ－Ｘ ＬｉＮｂＯ３基片漏声表面波设计制作的宽带低损耗滤波器，给出了用耦合模理论模拟的曲线和实验结果，其相对带宽为２ ．８％～６． ５％，插损为１．７～２．４ ｄＢ，带外抑制大于４５ ｄＢ。

20信道声表面波滤波器组初探

本文报道我们研制的一种20信道声表面波滤波器组,它有一个输入端,中心在200MHz中频,瞬时带宽100MHz,20个信道输出,每个信道带宽5MHz.各信道的插损为19～20dB,矩形度<2,信道阻带抑制>40dB.器件体积65mm×50mm×13mm,重量<140g.

一种宽带低损耗声表面波滤波器

阐述了一种利用纵向耦合双模制作宽带低损耗声表面波滤波器的方法，给出了理论计算方法和计算机模拟结果，最后给出了制作中心频率为４５３ＭＨｚ的声表面波滤波器实验结果，插入损耗为１．９ｄＢ，１ｄＢ带宽为６．６６ＭＨｚ，远端带外抑制大于４５ｄＢ。

一种声表面波滤波器的优化计算方法

介绍了一种新的优化计算方法，从理论上详细论述了这种计算方法，编制了计算机程序。

声表面波低插入损耗滤波器的研制(Ⅰ)──控制电极宽度单相单向换器

概述了控制电极宽度单相单向换能错的工作原理和设计方法；讨论了声波单向辐射的方向与柳条反射系数相位之间的关系；给出了作者在ST石英、Y112°LiTaO3和Y128°LiNbO3基片上研制的两种无线通信用中频滤波器和作无绳电话双工器使用的两种滤波器的实验结果．插入损耗分别为4．6dB、3．5dB和3dB；相对带宽分别为0．60％、0．75％和1．4％；阻带抑制均大于50dB．

声表面波谐振滤波器中纵横向耦合模式的研究及其复合应用

在通常的声表面波谐振滤波器中,由于采用的模式不同,纵向耦合谐振器具带宽大和插损低,带外抑制较差的特点;而横向耦合谐振器则具有带外抑制高,低插损及通带较窄的特点,为了综合两种滤波器的优点,采用了一种改进的滤波器结构,可同时利用纵向与横向耦合模式,得到既有较大带宽又有高带外抑制的声表面波谐振滤波器,运用耦合膜理论对纵横向模式的复合进行了分析,并在计算机上对这种结构的滤波器特性作了模拟,实验结果与模拟结果得到了较好的吻合。

极窄带声表面波二重模滤波器

声表面波二重模滤波器具有极窄带宽和高阻带抑制的频率特性，应用于现代化移动通信系统中。本文介绍了二重模滤波器的设计方法及试验结果，报道了制作四极二重模滤波器在１６２．８ＭＨｚ频率下获得了０．９‰的相对带宽和约６０ｄＢ阻带抑制。

ZnO/蓝宝石结构声表面波滤波器试验研究

该文从理论上计算得到了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构的声表面波相速度和机电耦合系数色散曲线。依据该色散曲线设计了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构声表面波滤波器。采用在蓝宝石衬底上先制备ZnO薄膜然后再制作芯片结构的方案研制出了声表面波器件样品。研制过程中生长出了a面结构的ZnO薄膜,其中厚膜样品测试得到了3种声波模式,即模式0、1及2,模式0、1和2的频率分别为1 073.79 MHz,1 290.63 MHz和1 572.3 MHz,因此,间接测得了模式0、1和2的相速度分别为3 865.67m/s,4 646.25m/s和5 660.27m/s。

用谐波制作的高频声表面波滤波器

高频声表面波滤波器工作在基波时，叉指换能器指条和间隙仅为亚微米的几何尺寸，为了减小光刻工艺难度，滤波器可以用高次谐波制作。本文简述了几种有效激励谐波的叉指换能器结构和影响激励效率的主要因素，介绍了用谐波制作在Ｘ—１１２°Ｙ钽酸锂基片上的５００ＭＨｚ声表面波滤波器的试验结果。