一种新型LDI复合对位标靶在HDI生产中的应用

HDI板中同时存在激光孔及机械通孔,且两种孔的对位基准点与设备精度不同,很难同时保证激光孔及机械通孔的对准度。本文主要介绍了一种新型的LDI复合对位标靶的设计,通过制程中对位方式的优化重组,以此提升激光孔与机械通孔的涨缩匹配性。