超声电解复合微细加工装置与试验研究

分析微细电解复合超声频振动加工过程机理,提出一种微细加工新方法--超声电解复合微细加工;设计、构造并完善复合微细加工装置;研究微细阴极制作工艺,利用微细组合电加工技术制作各类截面形状的微细阴极;进行超声电解复合微细加工试验,验证微细电解复合超声频振动实现微细加工的可行性及其在加工速度、精度、表面质量等方面的技术优势,探讨超声电解复合微细加工制作微结构的工艺规律。

超声—电解复合微细加工阴极制作工艺研究

介绍超声—电解复合微细加工原理,分析微细阴极工作特点及制作难点,提出微细组合放电加工制作阴极的方法;利用精密电加工设备,通过"联动复合进给"、"内、外面转换"及"平动与拷贝"式微细放电,制作多种截形的微细阴极;进行超声—电解复合微细加工试验,阴极可满足使用要求。

制作微器件的超声电解复合微细加工基础研究

提出一种制造MEMS微器件的新技术———超声电解复合微细加工;设计微细加工工艺系统,进行一系列微细加工基础工艺试验,验证超声电解复合微细加工在微器件制造中的可行性,展示了该技术在提高微细加工精度、效率、表面质量等方面的优势,研究成果对完善MEMS器件制作技术具有重要理论意义与实用价值。

超声复合微细电火花加工机理与试验

微结构电火花加工短路、断路或电弧放电作用,降低加工效率及精度。提出将超声频振动与微细电火花加工复合,利用电极与工件之间的超声频相对运动,产生规则的、参数可控的微细脉冲放电;构造、完善超声复合微细电火花试验系统,进行微结构超声复合电火花加工试验,有效避免短路、断路及电弧脉冲,有效提高加工精度与效率。

微细结构超声电解复合加工工艺研究

利用组合电加工方法制作的多种微细工具阴极,对多种材料进行了微细超声与微细超声电解复合加工的对比试验.结果表明微细超声电解复合加工对于提高微细结构加工效率与成形精度有明显效果.

微细电解加工及其复合加工技术

结合近几年微细电解加工技术的发展状况,阐述了常规微细电解加工技术、微细电火花电解复合加工技术、微细超声电解复合加工技术、微细激光电解复合加工技术等方面的最新研究进展,研究表明微细电解加工及其复合加工技术是实现难加工材料或具有复杂特殊结构微细金属零件的理想加工制造方法。

制作微结构的超声复合加工机理

提出了制作微结构的超声复合加工方法,分析了超声、超声复合电火花、超声复合电解微细加工机理。用微细放电组合工艺制作了多种截形微细工具电极;完善试验系统,进行了多种材料、形状微结构超声复合加工试验。结果表明:超声加工是制作硬脆材料微结构的有效方法;超声复合电火花制作金属材料微结构有较好的精度及加工稳定性;超声复合电解加工兼有效率高、精度好的技术优势。

微细加工技术在国内外发展趋势的研究

研究了国内外微细加工技术的发展状况,基于MEMS器件的微细加工技术,提出了在低电位、微电流密度下电化学钝化效应基础上,用高频振动效应消除钝化,用与高频振动同频同步的窄脉冲电流电解作用去除机体材料,实现电解复合微细加工,这是微细加工技术的新构想及发展趋势。

微结构超声复合加工机理分析与试验

提出制作微结构的超声复合电加工方法。分析微细超声、超声复合电火花、超声复合电解微细加工过程机理。用微细放电组合技术制作多种截面形状微细工具电极;完善超声复合电加工试验系统,进行了多种材料、形状的微结构超声复合加工试验。结果表明:用超声加工是制作硬脆材料微结构的有效方法,用超声复合电火花制作的金属材料微结构有好的精度及稳定性;超声复合电解加工兼有效率高、精度好的技术优势。

基于MEMS器件的电解微细加工技术的研究

基于MEMS器件的微细加工技术,提出了在微电流密度下电化学钝化机理基础上,用高频振动效应消除钝化,用与高频振动同频同步的窄脉冲电流电解作用去除机体材料,实现电解复合微细加工,这是微细加工技术的新构想及发展趋势。

摩擦副表面圆形微凹坑特种加工工艺设计与试验

摩擦副表面一定规则形貌的微凹坑可以改善表面摩擦学特性,提高润滑耐磨性能。根据摩擦学理论,设计圆形微凹坑;用组合电加工方法制作阵列微细轴工具电极;采用多种微细特种加工方法加工出微凹坑,并进行微凹坑加工工艺分析。