喷雾干燥法制备CeO_2-SiO_2复合抛光粉

以碳酸铈为铈源,以硅溶胶为硅源,通过喷雾干燥法制备Ce O2-Si O2复合氧化物前驱体,再通过煅烧得到复合抛光粉;利用X射线衍射、扫描电子显微镜、激光粒度仪、zeta电位仪对复合抛光粉的晶体结构、表面形貌、粒径分布、zeta电位进行表征,并进行抛光性能研究。结果表明:当Ce O2与Si O2的质量比大于2∶1时,复合抛光粉中的Si O2能完全掺杂到Ce O2中,并且抛光效果优于Ce O2和Si O2抛光粉的;当Ce O2与Si O2的质量比为4∶1时,复合抛光粉的粒径d50为0.985μm,抛蚀量为0.296 0 g,表面划痕少,抛光效果最好。