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复合金刚石薄膜涂层铝塑复合管拉拔模的制备及应用(上) 被引量:1
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作者 王新昶 申笑天 +2 位作者 赵天奇 孙方宏 沈彬 《超硬材料工程》 CAS 2016年第2期20-23,共4页
选取一种新型的高性能三层复合金刚石薄膜,即硼掺杂微米-未掺杂微米-未掺杂纳米复合金刚石(boron-doped micro-crystalline,undoped micro-crystalline and undoped nano-crystalline composite diamond,BDM-UM-UNCD)薄膜作为铝塑复合... 选取一种新型的高性能三层复合金刚石薄膜,即硼掺杂微米-未掺杂微米-未掺杂纳米复合金刚石(boron-doped micro-crystalline,undoped micro-crystalline and undoped nano-crystalline composite diamond,BDM-UM-UNCD)薄膜作为铝塑复合管拉拔模具内孔工作表面的耐磨减摩保护涂层,该薄膜具有优异的综合性能。表征结果表明,采用仿真优化的沉积参数在该拉拔模具整个内孔表面沉积了厚度较为均匀(19~24μm)的复合金刚石薄膜,尤其是在主要的工作区域沉积了厚度均匀、质量优异的复合金刚石薄膜;采用机械抛光可以便利地将内孔薄膜抛光到Ra^45nm的表面粗糙度以下。油润滑及水润滑条件下拉拔铝塑复合管的应用试验结果表明,相比于未涂层及其他类型金刚石薄膜涂层拉拔模具而言,该复合金刚石薄膜涂层模具具有很长的使用寿命,并且表现出极佳的应用效果。 展开更多
关键词 复合金刚石薄膜 热丝化学气相沉积 拉拔模具 水润滑 铝塑复合
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复合金刚石薄膜涂层铝塑复合管拉拔模的制备及应用(下)
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作者 王新昶 申笑天 +2 位作者 赵天奇 孙方宏 沈彬 《超硬材料工程》 CAS 2016年第3期35-40,共6页
选取一种新型的高性能三层复合金刚石薄膜,即硼掺杂微米-未掺杂微米-未掺杂纳米复合金刚石(boron-doped micro-crystalline,undoped micro-crystalline and undoped nano-crystalline composite diamond,BDM-UM-UNCD)薄膜作为铝塑复合... 选取一种新型的高性能三层复合金刚石薄膜,即硼掺杂微米-未掺杂微米-未掺杂纳米复合金刚石(boron-doped micro-crystalline,undoped micro-crystalline and undoped nano-crystalline composite diamond,BDM-UM-UNCD)薄膜作为铝塑复合管拉拔模具内孔工作表面的耐磨减摩保护涂层,该薄膜具有优异的综合性能。表征结果表明,采用仿真优化的沉积参数在该拉拔模具整个内孔表面沉积了厚度较为均匀(19~24μm)的复合金刚石薄膜,尤其是在主要的工作区域沉积了厚度均匀、质量优异的复合金刚石薄膜;采用机械抛光可以便利地将内孔薄膜抛光到Ra^45nm的表面粗糙度以下。油润滑及水润滑条件下拉拔铝塑复合管的应用试验结果表明,相比于未涂层及其他类型金刚石薄膜涂层拉拔模具而言,该复合金刚石薄膜涂层模具具有很长的使用寿命,并且表现出极佳的应用效果。 展开更多
关键词 复合金刚石薄膜 热丝化学气相沉积 拉拔模具 水润滑 铝塑复合
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微-纳米复合金刚石薄膜的制备与性能研究 被引量:1
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作者 柴士磊 史新伟 +4 位作者 周秋霞 靳慧智 姚宁 王新昌 张兵临 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期11-13,22,共4页
在钛-铝-钼为过渡层的Cu片上,用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法首先沉积一层微米金刚石薄膜,然后沉积纳米金刚石薄膜,制备了微-纳米复合金刚石薄膜。利用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面形貌及界面状态,利用拉曼光谱及X射线衍射对薄... 在钛-铝-钼为过渡层的Cu片上,用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法首先沉积一层微米金刚石薄膜,然后沉积纳米金刚石薄膜,制备了微-纳米复合金刚石薄膜。利用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面形貌及界面状态,利用拉曼光谱及X射线衍射对薄膜微结构进行分析并采用压痕法检测了膜基间的结合力并观察了压痕的状态。结果表明,该薄膜下层颗粒粗大,是微米级的金刚石,上层颗粒细小,是纳米级的金刚石,薄膜表面平整光滑;薄膜的附着力与纳米金刚石沉积时间的长短有关,当沉积时间为2h时,薄膜与衬底的结合力最好。 展开更多
关键词 MPCVD 微-纳米复合金刚石薄膜 附着力 界面
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不同衬底对金刚石-石墨烯复合薄膜场发射性能影响研究
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作者 韦庆红 张文 +5 位作者 官磊 吴晓雪 刘辉强 汪建 王兵 熊鹰 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第10期10059-10063,共5页
金刚石薄膜因其高导热性、负电子亲和势、低功函数和长期稳定性的特点被认为是一种很有潜力的场电子发射阴极材料。金刚石薄膜沉积在衬底上后,在不破坏金刚石薄膜自身结构完整性的前提下很难将其剥离。因此在场发射性能测试中一般是将... 金刚石薄膜因其高导热性、负电子亲和势、低功函数和长期稳定性的特点被认为是一种很有潜力的场电子发射阴极材料。金刚石薄膜沉积在衬底上后,在不破坏金刚石薄膜自身结构完整性的前提下很难将其剥离。因此在场发射性能测试中一般是将金刚石薄膜和衬底作为整体测试,而衬底和金刚石薄膜间存在界面势垒,界面势垒对场发射性能的影响不可忽略。目前针对金刚石薄膜与衬底界面对场发射性能影响的研究相对较少,需要更多的关注和研究。分别以单晶硅、金属铌、金属钼为衬底,采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法生长制备了金刚石-石墨烯复合薄膜。对金刚石-石墨烯复合薄膜微观形貌、成分含量等进行了表征并研究了其场发射性能。研究结果表明,不同衬底对复合薄膜场发射性能影响显著,以金属铌衬底制备的复合薄膜表现出低开启场(E_(0)=2.5 V/μm)和较高发射电流密度(J@5.3 V/μm=1.9 mA/cm^(2))。此研究为获得更优场发射性能的金刚石-石墨烯复合薄膜提供了新的思路。 展开更多
关键词 电子场发射 金刚石-石墨烯复合薄膜 不同衬底 MPCVD
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润滑条件下金刚石薄膜及石墨/金刚石复合薄膜的摩擦学性能 被引量:8
5
作者 侯亚奇 庄大明 +2 位作者 张弓 刘家浚 吴敏生 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期1-5,共5页
利用SRV摩擦磨损试验机对比考察了液体石蜡润滑时硬质合金基体上金刚石薄膜和石墨 /金刚石复合薄膜的摩擦学性能 ,采用扫描电子显微镜对试样和磨痕表面形貌进行了观察分析 ,并进而探讨了磨损机理 .结果表明 ,在润滑条件下 ,石墨 /金刚... 利用SRV摩擦磨损试验机对比考察了液体石蜡润滑时硬质合金基体上金刚石薄膜和石墨 /金刚石复合薄膜的摩擦学性能 ,采用扫描电子显微镜对试样和磨痕表面形貌进行了观察分析 ,并进而探讨了磨损机理 .结果表明 ,在润滑条件下 ,石墨 /金刚石复合薄膜的摩擦系数和磨损体积损失均较金刚石薄膜的小 ,金刚石薄膜和石墨 /金刚石复合薄膜的主要磨损机理均为亚微断裂磨损 。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 石墨/金刚石复合薄膜 摩擦学性能 磨损机理 润滑
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搅拌对金刚石-金属复合薄膜电沉积结果的影响及流体力学分析 被引量:7
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作者 方莉俐 张兵临 姚宁 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2005年第2期18-20,共3页
给出了搅拌对金刚石-金属复合薄膜电沉积结果的影响,指出:搅拌速度对薄膜中金刚石颗粒密度影响很大, 最佳速度范围内(180r/min-220r/min),金刚石颗粒分布致密;螺旋桨位置严重影响金刚石颗粒分布均匀性,搅拌位置为镀液下部时,可以获得致... 给出了搅拌对金刚石-金属复合薄膜电沉积结果的影响,指出:搅拌速度对薄膜中金刚石颗粒密度影响很大, 最佳速度范围内(180r/min-220r/min),金刚石颗粒分布致密;螺旋桨位置严重影响金刚石颗粒分布均匀性,搅拌位置为镀液下部时,可以获得致密均匀的金刚石-金属复合薄膜;阴极倾斜悬挂有利于金刚石颗粒的沉积。并从固液两相流体动力学理论对结果作了简要分析。另外,采用扫描电镜(SEM)检测了薄膜中金刚石颗粒的含量和分布情况。 展开更多
关键词 搅拌 金刚石-金属复合薄膜 电沉积 流体动力学
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施加偏压对采用等离子体辅助热丝化学气相沉积法在硬质合金上沉积金刚石/碳化硅/硅化钴复合薄膜的影响 被引量:2
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作者 王陶 蒋春磊 唐永炳 《集成技术》 2017年第1期24-38,共15页
金刚石涂层硬质合金是一种出众的刀具材料,将碳化硅掺入金刚石涂层中不仅可以提高涂层的断裂韧性,还能够提高薄膜与基体之间的粘附性。文章采用氢气、甲烷和四甲基硅烷混合气体作为反应气体,用直流等离子体辅助热丝化学气相沉积法在硬... 金刚石涂层硬质合金是一种出众的刀具材料,将碳化硅掺入金刚石涂层中不仅可以提高涂层的断裂韧性,还能够提高薄膜与基体之间的粘附性。文章采用氢气、甲烷和四甲基硅烷混合气体作为反应气体,用直流等离子体辅助热丝化学气相沉积法在硬质合金基体上沉积金刚石-碳化硅-硅化钴复合薄膜。通过扫描电子显微镜、电子探针显微分析、X射线衍射和拉曼光谱对薄膜的表面形貌、成分以及结构进行了分析,结果显示此复合薄膜中含有金刚石、碳化硅(β-Si C)和硅化钴(Co2Si、Co Si)。复合薄膜的结构和成分可通过调节偏流和气相中四甲基硅烷的浓度来控制,随着偏流的增加,复合薄膜中金刚石晶粒尺寸变大且含量增加,β-Si C的含量减少,因为复合薄膜沉积过程中正偏压促进金刚石的生长,并且增强金刚石的二次形核。虽然电子轰击同时增强了氢气、甲烷和四甲基硅烷的分解,但随着偏流的增加,气相中产生的碳源浓度高于硅源浓度,使金刚石比β-Si C在空间生长上更具有优势。当偏流过高时则形成纯金刚石,不能够同时沉积金刚石、β-Si C和硅化钴三种物质。通过调节偏压和气体成分,金刚石和碳化硅在复合薄膜中的分布得以控制。该工作有助于理解和控制复合材料和超硬薄膜的生长,所产生的复合薄膜可用于提高金刚石涂层刀具切削性能。 展开更多
关键词 金刚石/碳化硅/硅化钴复合薄膜 偏压 金刚石 硬质合金 热丝化学气相沉积
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金刚石薄膜与WC-Co硬质合金结合力的改善 被引量:5
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作者 李建国 胡东平 +2 位作者 梅军 刘实 李依依 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期763-769,共7页
利用SEM,XRD研究了Murakami溶液和H2等离子体处理对硬质合金表面形貌、物相结构的影响,并对硬质合金工具进行了复合金刚石薄膜涂层,采用压痕法和实际钻削实验检测了金刚石薄膜/基体间的结合力.结果表明,微米/纳米复合金刚石薄膜涂层... 利用SEM,XRD研究了Murakami溶液和H2等离子体处理对硬质合金表面形貌、物相结构的影响,并对硬质合金工具进行了复合金刚石薄膜涂层,采用压痕法和实际钻削实验检测了金刚石薄膜/基体间的结合力.结果表明,微米/纳米复合金刚石薄膜涂层分布均匀,具有低的表面粗糙度.Murakami溶液处理硬质合金可产生均匀的表面沟槽,其金刚石薄膜与基体间的临界载荷约为1.5 kN,而用该方法制备的涂层钻头加工性能很差.H2等离子体处理促进了硬质合金基体表面的WC晶粒更加粗大、致密,其临界载荷超过1.5 kN,用该方法制备的涂层钻头的加工性能优良. 展开更多
关键词 复合金刚石薄膜 硬质合金 结合力 Murakami溶液 H2等离子体
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加工碳/碳复合材料的复合金刚石涂层刀具的制备及切削试验研究 被引量:3
9
作者 郭振海 邓福铭 +3 位作者 赵鑫 宋美娇 张磊 向道辉 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2020年第12期1-5,12,共6页
为了更高效地加工碳/碳复合材料,在硬质合金刀具上采用热丝CVD法(HFCVD)沉积了微米纳米复合金刚石(micro-nanocrystalline composite diamond,MNCD)薄膜,即先在基体表面沉积一层微米金刚石(microcrystalline diamond,MCD)薄膜,然后不间... 为了更高效地加工碳/碳复合材料,在硬质合金刀具上采用热丝CVD法(HFCVD)沉积了微米纳米复合金刚石(micro-nanocrystalline composite diamond,MNCD)薄膜,即先在基体表面沉积一层微米金刚石(microcrystalline diamond,MCD)薄膜,然后不间断地原位沉积一层纳米金刚石(nanocrystalline diamond,NCD)薄膜。通过扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对MNCD薄膜的形貌和质量进行表征,利用切削试验研究了MCD涂层刀具、MNCD涂层刀具和硬质合金刀具的切削性能。结果表明:涂覆的MNCD薄膜质量很高,横断面上微米金刚石颗粒以柱状晶的方式生长,纳米金刚石颗粒以堆叠的方式生长,两者之间有明显的界限;切削试验中,MNCD涂层刀具由于具有MCD薄膜的膜基结合力好的优点,同时又兼有NCD薄膜表面摩擦系数小的优点,在3种刀具中表现良好;可以看出,MNCD薄膜可极大地提升工具的切削性能,延长刀具的使用寿命。 展开更多
关键词 碳/碳复合材料 微纳米复合金刚石薄膜 HFCVD 切削试验 刀具磨损
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氮气流量对CrN⁃DLC薄膜的摩擦学性能及腐蚀行为的影响
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作者 胡杨 何沐阳 《材料保护》 CAS CSCD 2023年第12期36-43,95,共9页
为了促进类金刚石(DLC)薄膜在恶劣的海洋环境中的应用,采用磁控溅射技术在304不锈钢上沉积CrN⁃DLC薄膜。利用SEM、拉曼光谱仪、XPS、EDS、纳米压痕仪、摩擦试验机、三维轮廓仪、电化学工作站测试表征了不同氮气流量条件下制备的CrN⁃DLC... 为了促进类金刚石(DLC)薄膜在恶劣的海洋环境中的应用,采用磁控溅射技术在304不锈钢上沉积CrN⁃DLC薄膜。利用SEM、拉曼光谱仪、XPS、EDS、纳米压痕仪、摩擦试验机、三维轮廓仪、电化学工作站测试表征了不同氮气流量条件下制备的CrN⁃DLC薄膜的表面和截面形貌、微观键合结构、化学键状态、成分和元素分布、硬度、摩擦学性能和耐腐蚀性能。结果表明:CrN⁃DLC薄膜的表面组织结构致密,无明显的缺陷,同时沉积的薄膜均为非晶结构。通入2 mL/min N2时,薄膜的弹性回复率达到55%,表明CrN⁃DLC薄膜具有良好的韧性,该条件下制备的薄膜在模拟海水中与Si_(3)N4球摩擦的磨损率仅为8.63×10^(-10)m^(3)/(N·m)。在电化学测试中,所有CrN⁃DLC薄膜的阳极极化曲线均表现出明显的钝化现象,其中,通入2 mL/min N2时,薄膜的腐蚀电流密度比304不锈钢低2个数量级,表现出良好的耐腐蚀性能。CrN⁃DLC薄膜的结构设计及元素掺杂能有效提高304不锈钢的减摩耐磨性能及耐腐蚀性能,拓宽了DLC薄膜在海洋环境中的应用。 展开更多
关键词 金刚石复合薄膜 CRN 摩擦磨损性能 腐蚀性能 氮气流量 磁控溅射
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Fabrication and application of nano/microcrystalline composite diamond coated drawing dies using alternative carbon sources 被引量:1
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作者 Cheng-chuan WANG Xin-chang WANG Fang-hong SUN 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第8期1602-1610,共9页
Nano/microcrystalline composite diamond films were deposited on the holes of WC-6%Co drawing dies by a two-step procedure using alternative carbon sources, i.e., methane for the microcrystalline diamond(MCD) layer a... Nano/microcrystalline composite diamond films were deposited on the holes of WC-6%Co drawing dies by a two-step procedure using alternative carbon sources, i.e., methane for the microcrystalline diamond(MCD) layer and acetone for the nanocrystalline diamond(NCD) layer. Moreover, the monolayer methane-MCD and acetone-NCD coated drawing dies were fabricated as comparisons. The adhesion and wear rates of the diamond coated drawing dies were also tested by an inner hole polishing apparatus. Compared with mono-layer diamond coated drawing die, the composite diamond coated one exhibits better comprehensive performance, including higher adhesive strength and better wear resistance than the NCD one, and smoother surface(Ra=65.3 nm) than the MCD one(Ra=95.6 nm) after polishing at the same time. Compared with the NCD coated drawing die, the working lifetime of the composite diamond coated one is increased by nearly 20 times. 展开更多
关键词 MICROCRYSTALLINE NANOCRYSTALLINE composite diamond film WC Co drawing die alternative carbon source
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Analysis of solid-liquid fluid dynamics about the characteristics of electrotyping diamond-nickel composite film
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作者 Fang Lili Zhang Binglin 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2007年第3期4-8,共5页
In this paper,super-thin free-standing diamond grains-nickel composite film in large area were prepared by using electrotyping method,which were used to make super-thin cutting blades.Scanning electron microscope(SEM)... In this paper,super-thin free-standing diamond grains-nickel composite film in large area were prepared by using electrotyping method,which were used to make super-thin cutting blades.Scanning electron microscope(SEM) were used to analyse the characteristics of the film.It was found that the agitation velocity and the place of impeller strongly affected the content and uniformity of diamond grains in deposited composite film when the other parameters were the same.The best film was deposited when agitation velocity was 180-220 r/m and the impeller was placed in the lower part of the solution.The obliquity of cathode strongly affected the content of diamond grains in the film,and the content reached maximum when the obliquity was kept at 45 degree.The hanging orientation of cathode strongly affected the uniformity of the thickness of the film,and uniform films were deposited when cathode was intermissively circumrotated by 90 degree in the plane itself during deposition.The fluid field in solid-liquid stirred electrolytic solution was analysed by using Computational Fluid Dynamics(CFD).And the influences of agitation velocity, the place of impeller and the obliquity of cathode on the content of diamond grains in the film were explained.With Euler-Lagrange model,the just-suspended speed of impeller in solid-liquid stirred electrolytic tank was predicted by using Zwietering formula,the predicted speed was and it was consistent with experimental result. 展开更多
关键词 固液流体力学 电铸术 金刚石复合薄膜 超薄磨片
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