投影物镜小比率模型系统补偿量的选择

由于光刻投影物镜小比率模型光学系统的光学元件数量较多,用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法已不适用。本文利用灵敏度矩阵,通过找出偏心补偿量和倾斜补偿量的内在联系来缩小补偿量的选择范围。然后根据失调量敏感度的分析,提出了选择系统补偿量的方法。利用这个方法,选择4个补偿量便使补偿后的光学系统的成像质量满足设计指标要求,减少了光学系统的装调难度。最后,编写宏模块完成大量仿真计算,验证了敏感度分析的正确性。光学系统初装完成后,对系统进行了预装调。实验结果表明,补偿后系统波像差(RMS)由50.9nm提高到25.9nm,优于技术指标要求,证明了本文提出的补偿量选择方法的正确性和有效性。

利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量

光刻投影物镜小比例模型光学系统镜片数量较多,用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法对其不适用。利用灵敏度矩阵,并对其进行奇异值分解,对分解后的失调量向量的数值与符号进行分析,确定各失调量之间的相关性,提出了系统补偿量的选择方法,该方法仅需要分析少量向量即能选择补偿量的最佳组合。编写宏模块进行大量仿真计算,验证了补偿量敏感度与相关性分析的正确性。物镜系统初装完成后,对系统进行了仿真预装调,以确保补偿方案的可行性。实验结果表明,补偿后系统波像差均方根(RMS)值由70nm降低到29.6nm,优于技术指标要求,证明了提出的补偿量选择方法的正确性和有效性。