外压条件下TaN及Ta-Si-N结构相变的第一性原理研究

利用基于第一性原理密度泛函理论的赝势平面波方法,对TaN、Ta-Si-N的B1型(NaCl)和B2型(CsCl)复合结构在压力下的的力学常数、体积-能量关系、焓-压关系以及声子色散关系图进行了计算和研究,并分析了他们的相对稳定性.根据计算结果,推断在90—110 GPa左右压力时,TaN薄膜将会发生由B1型向B2型的相变,且材料脆性增加;当压力在190—200GPa的范围内,Ta-Si-N薄膜也将发生B1→B2型的结构转变,由延展性材料压变为脆性材料.