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现代外延生长技术 被引量:1
1
作者 黄和鸾 《辽宁大学学报(自然科学版)》 CAS 1994年第1期30-38,共9页
由于现代外延生长技术的不断完善,使异质结器件、量子阱与超晶格材料的生长与应用得到迅速发展.本文概述了目前半导体材料与器件研究最先进的几种外延生长技术,包括MBE、MOCVD、CBE、ALE和HWE.
关键词 外延生长技术 半导体材料
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GaAlAs LED液相外延生产关键技术研究成果、专利及产业化前景预测
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作者 赵景泉 《材料导报》 EI CAS CSCD 2001年第2期22-22,共1页
1 取得的成果 (1)LED早期光衰问题的解决 由于GaAlAs的铝组分含量高,器件的早期光衰严重,在室温20mA工作电流下,96h后,发光强度平均哀减20%,严重影响器件的市场开发。 通过调整铝组分和工艺条件,提高保护气体纯度等方法,解决了此问题。... 1 取得的成果 (1)LED早期光衰问题的解决 由于GaAlAs的铝组分含量高,器件的早期光衰严重,在室温20mA工作电流下,96h后,发光强度平均哀减20%,严重影响器件的市场开发。 通过调整铝组分和工艺条件,提高保护气体纯度等方法,解决了此问题。 (2) 展开更多
关键词 LED 发光二极管 镓铝砷化合物半导体 液相外延生长技术
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砷化镓太阳电池技术的进展与前景 被引量:42
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作者 张忠卫 陆剑峰 +2 位作者 池卫英 王亮兴 陈鸣波 《上海航天》 2003年第3期33-38,共6页
介绍了砷化镓 (GaAs)太阳电池的特点 ,并比较了液相外延 (LPE)和金属有机物化学气相沉积(MOCVD)两种外延生长技术。叙述了国外单结、双结与三结GaAs太阳电池的结构、性能、研制及生产情况 ,分析了GaAs太阳电池的发展方向。最后根据国内G... 介绍了砷化镓 (GaAs)太阳电池的特点 ,并比较了液相外延 (LPE)和金属有机物化学气相沉积(MOCVD)两种外延生长技术。叙述了国外单结、双结与三结GaAs太阳电池的结构、性能、研制及生产情况 ,分析了GaAs太阳电池的发展方向。最后根据国内GaAs太阳电池的研制进展和空间试用情况 。 展开更多
关键词 砷化镓太阳能电池 卫星电池 空间电源 外延生长技术
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化学束外延(CBE)的研究现状及其应用
4
作者 宋登元 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1990年第1期1-5,14,共6页
化学束外延(CBE)是近三、四年才发展起来的一种新的外延生长技术。本文较系统地评述了CBE的研究现状,并在把CBE技术与MOCVD和MBE技术比较的基础上,着重介绍了CBE的原理和特点。最后介绍了它在制备化合物半导体薄膜和光电器件方面的应用... 化学束外延(CBE)是近三、四年才发展起来的一种新的外延生长技术。本文较系统地评述了CBE的研究现状,并在把CBE技术与MOCVD和MBE技术比较的基础上,着重介绍了CBE的原理和特点。最后介绍了它在制备化合物半导体薄膜和光电器件方面的应用和最新进展。 展开更多
关键词 化学束外延 外延生长技术 半导体工艺
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MOCVD技术及其源材料
5
作者 段树坤 《低温与特气》 CAS 1984年第2期26-35,共10页
外延生长技术是制备半导体材科,特别是半导体器件的重要方法之一,用外延方法可以制作某些结构复杂的半导体器件。半导体材料和器件这种需要促使多种外延技术得到了发展和应用。其中包括汽相外延(VPE)、液相外延(LPE)和分子束外延(MBE... 外延生长技术是制备半导体材科,特别是半导体器件的重要方法之一,用外延方法可以制作某些结构复杂的半导体器件。半导体材料和器件这种需要促使多种外延技术得到了发展和应用。其中包括汽相外延(VPE)、液相外延(LPE)和分子束外延(MBE)。汽相外延生长中又可依据原料的不同分为氯化物工艺、氢化物工艺和MOCVD工艺(金属有机化合物化学汽相淀积)。 展开更多
关键词 MOCVD技术 金属有机化合物 MOCVD工艺 半导体器件 外延生长技术 汽相外延生长 化学汽相淀积 半导体材料 分子束外延 外延技术 液相外延 氯化物 氢化物
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砷化镓基系Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体太阳电池的发展和应用(1)
6
作者 向贤碧 廖显伯 《太阳能》 2015年第6期15-16,共2页
介绍以直接带隙Ⅲ-Ⅴ族材料为主体的多结叠层聚光太阳电池的特性和研发进展。据报道,三结叠层GaInP/GaAs/Ge太阳电池已成为空间能源的主力军,四结叠层GaInP/GaAs/GaInPAs/GaInAs聚光太阳电池的效率已达46.5%。在不远的将来,实现高效(>... 介绍以直接带隙Ⅲ-Ⅴ族材料为主体的多结叠层聚光太阳电池的特性和研发进展。据报道,三结叠层GaInP/GaAs/Ge太阳电池已成为空间能源的主力军,四结叠层GaInP/GaAs/GaInPAs/GaInAs聚光太阳电池的效率已达46.5%。在不远的将来,实现高效(>50%)、低成本的Ⅲ-Ⅴ族多结叠层聚光电池是有现实可能的。 展开更多
关键词 Ⅲ-Ⅴ族材料 多结叠层电池 高效聚光电池 外延生长技术
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高气压反射式高能电子衍射仪监控脉冲激光外延氧化物薄膜 被引量:4
7
作者 陈莺飞 彭炜 +6 位作者 李洁 陈珂 朱小红 王萍 曾光 郑东宁 李林 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期2601-2606,共6页
在超高真空分子束外延 (MBE)生长技术中 ,反射式高能电子衍射仪 (RHEED)能实时显示半导体和金属外延生长过程 ,给出薄膜表面结构和平整度的信息 ,成为MBE必备的原位表面分析仪 .为了研究氧化物薄膜如高温超导(YBa2 Cu3 O7)、铁电薄膜 (S... 在超高真空分子束外延 (MBE)生长技术中 ,反射式高能电子衍射仪 (RHEED)能实时显示半导体和金属外延生长过程 ,给出薄膜表面结构和平整度的信息 ,成为MBE必备的原位表面分析仪 .为了研究氧化物薄膜如高温超导(YBa2 Cu3 O7)、铁电薄膜 (Sr1 -xBaxTiO3 )及它们的同质和异质外延结构的生长机理 ,获得高质量的符合各种应用需要的氧化物多层薄膜结构 ,在常规的制备氧化物薄膜的脉冲激光沉积 (PLD)设备上配备适合在高气压制膜条件下使用的高气压反射式高能电子衍射仪 (high pressureRHEED) ,在国内首先实现氧化物薄膜生长过程的实时监控 .详细介绍了高气压反射式高能电子衍射仪的结构和特性 ,给出了碳酸锶 (SrTiO3 )基片上同质外延碳酸锶铌 (SrTiO3 +2 %Nb)和异质外延钇钡铜氧 (Y1 Ba2 Cu3 O7)薄膜生长过程中衍射图形和零级衍射强度震荡 . 展开更多
关键词 高温超导薄膜 RHEED 超高真空分子束外延生长技术 反射式高能电子衍射仪 监控 脉冲激光 氧化物薄膜
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大功率半导体激光器件的最新进展
8
作者 王智勇 尧舜 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2010年第9期I0015-I0018,共4页
1引言 半导体激光器由于具有体积小、重量轻、效率高等众多优点,诞生伊始一直是激光领域的关注焦点,广泛应用于工业、军事、医疗、通信等众多领域。但是由于自身量子阱波导结构的限制,半导体激光器的输出光束质量与固体激光器、CO2... 1引言 半导体激光器由于具有体积小、重量轻、效率高等众多优点,诞生伊始一直是激光领域的关注焦点,广泛应用于工业、军事、医疗、通信等众多领域。但是由于自身量子阱波导结构的限制,半导体激光器的输出光束质量与固体激光器、CO2激光器等传统激光器相比较差,阻碍了其应用领域的拓展。近年来,随着半导体材料外延生长技术、半导体激光波导结构优化技术、腔面钝化技术、高稳定性封装技术、 展开更多
关键词 半导体激光器件 大功率 光波导结构 CO2激光器 外延生长技术 固体激光器 半导体材料 光束质量
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石墨烯纳米结构的边缘调控和相关电子学器件研究
9
《中国科技成果》 2017年第16期18-19,共2页
本项目发展了自上而下的石墨烯纳米结构的可控加工和剪裁技术以及自下而上的石墨烯和石墨烯纳米带在六方氮化硼(h—BN)的外延生长技术,研究了原子尺度平整的特殊边缘结构和h~BN基底调制的石墨烯超晶格结构,探讨了在其调控下的声子... 本项目发展了自上而下的石墨烯纳米结构的可控加工和剪裁技术以及自下而上的石墨烯和石墨烯纳米带在六方氮化硼(h—BN)的外延生长技术,研究了原子尺度平整的特殊边缘结构和h~BN基底调制的石墨烯超晶格结构,探讨了在其调控下的声子振动、局域边缘态、载流子边缘散射以及表面超晶格对石墨烯能带的调控等特性。本项目独创的边缘态结构调控和石墨烯二维超晶格结构调控的新方法和新技术,对石墨烯纳米结构的物性调控具有特殊意义,对于理解尺寸限制和边缘态以及超晶格结构调控下的石墨烯纳米结构电子、自旋输运特性提供了基础。 展开更多
关键词 结构调控 纳米结构 电子学 石墨 超晶格结构 器件 外延生长技术 输运特性
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Epitaxial growth and in-plane dielectric properties of orthorhombic HoMnO_3 films
10
作者 GAO Ping WANG WeiTian +1 位作者 ZHANG Wei SUN YuMing 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2014年第10期1875-1878,共4页
Orthorhombic HoMnO3(HMO) thin films were grown epitaxially on LaAlO3(001) substrates by using pulsed laser deposition technique. The films showed perfect orthorhombic crystallization and were well-aligned with the sub... Orthorhombic HoMnO3(HMO) thin films were grown epitaxially on LaAlO3(001) substrates by using pulsed laser deposition technique. The films showed perfect orthorhombic crystallization and were well-aligned with the substrates. The in-plane dielectric constant and loss of HMO films were measured as functions of temperature(80–300 K) and frequency(120 Hz–100 kHz) by using coplanar interdigital electrodes. Two thermally activated dielectric relaxations were found, and the respective peaks shifted to higher temperatures as the measuring frequency increased. The in-plane dielectric properties of epitaxial orthorhombic HMO films were considered as universal dielectric response behavior, and the dipolar effects and the hopping conductivity induced by the charge carriers were used to explain the results. 展开更多
关键词 dielectric properties interdigital electrodes HoMnO3 thin films ORTHORHOMBIC
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