期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
高测速双频激光干涉仪及其性能检测
被引量:
6
1
作者
闫聚群
吴健
+1 位作者
高赛
殷纯永
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2005年第1期5-7,19,共4页
新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求。为此,研制了一种基于5MHz频差双频激光器的高测速干涉仪,理论上的最高测量速度可达15...
新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求。为此,研制了一种基于5MHz频差双频激光器的高测速干涉仪,理论上的最高测量速度可达1580mm s。通过实验对测量速度和计数频率进行了检测,结果证明,这种干涉仪可以达到的最高测量速度为980mm s,外触发计数频率达11kHz。
展开更多
关键词
计量学
双频激光干涉仪
高测速
外触发频率
下载PDF
职称材料
题名
高测速双频激光干涉仪及其性能检测
被引量:
6
1
作者
闫聚群
吴健
高赛
殷纯永
机构
清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室
普锐科创科技有限责任公司
出处
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2005年第1期5-7,19,共4页
基金
国家自然科学基金(50027002)
清华大学博士生创新基金(第二期)
文摘
新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求。为此,研制了一种基于5MHz频差双频激光器的高测速干涉仪,理论上的最高测量速度可达1580mm s。通过实验对测量速度和计数频率进行了检测,结果证明,这种干涉仪可以达到的最高测量速度为980mm s,外触发计数频率达11kHz。
关键词
计量学
双频激光干涉仪
高测速
外触发频率
Keywords
Metrology
Dual-frequency laser interferometer
High measurement speed
External trigger frequency
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高测速双频激光干涉仪及其性能检测
闫聚群
吴健
高赛
殷纯永
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2005
6
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部