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题名超薄膜多中心生长的多重分形分析
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作者
王戴木
朱辉
吴韬
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机构
阜阳师范学院物理系
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出处
《阜阳师范学院学报(自然科学版)》
2002年第2期1-5,共5页
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文摘
模拟不同沉积速率下超薄膜多中心生长过程。结果显示:随着沉积率的降低,团簇数减少,团簇的平均分形维数增加。在团簇生长期间,当沉积率保持不变时,团簇的内部粒子在聚集之前比其边缘粒子经历更长时间的台面扩散。团簇不同部分的粒子的扩散时间分布能用多重分形谱来描述,沉积率越低,多重分形谱越宽。
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关键词
超薄膜
多中心生长
多重分形分析
MONTE-CARLO模拟
薄膜生长
沉积速率
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Keywords
Monte-Carlo simulation
Thin film growth
Multifractal
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分类号
O484.1
[理学—固体物理]
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题名A1/Ge双层膜退火过程中多中心晶化生长的模拟
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作者
王戴木
朱辉
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机构
阜阳师范学院物理系
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出处
《阜阳师范学院学报(自然科学版)》
2002年第1期16-18,共3页
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文摘
对 a-Ge/Al 双层膜在退火过程中出现的分形晶化现象进行了模拟研究。结果显示,各团簇的生长呈现出各向异性。分形晶化是随机相继触发形核的结果。这种多中心分形晶化图形显示出多重分形特征,用盒计数法得到了模拟图形的多重分形谱。
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关键词
Al/Ge双层膜
退火过程
多中心晶化生长
分形晶化
半导体/金属双层膜
计算机模拟
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Keywords
Thin film
Simulation
Multifractal
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分类号
O484.1
[理学—固体物理]
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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