软脆光学镜片多件抛光的表面质量一致性研究

针对软脆光学镜片在多件超精密抛光时由于工件厚度尺寸不一致,使加工后工件表面质量一致性较差的问题,提出了对同批待加工工件按厚度预分组后再抛光的方法,以提高产品良品率。为使抛光一致性和分组筛选时间平衡最优,本课题组对多件抛光时工件表面的应力状况进行有限元分析,分析最佳的尺寸分组阈值,并以实验验证。分析结果表明直径为20 mm的软脆光学镜片尺寸分组阈值设为15μm时结果最佳。该研究可为提高抛光软脆光学镜片生产成品率提供参考。