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基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术
被引量:
3
1
作者
诸波尔
李思坤
+3 位作者
王向朝
戴凤钊
唐锋
段立峰
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第7期135-143,共9页
提出了一种基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术。通过采用一元线性采样方式,在不同偏振照明条件下采集浸没式光刻机投影物镜的空间像进行主成分分析,在快速建模的同时实现高阶波像差的高精度检测。与基于Box-B...
提出了一种基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术。通过采用一元线性采样方式,在不同偏振照明条件下采集浸没式光刻机投影物镜的空间像进行主成分分析,在快速建模的同时实现高阶波像差的高精度检测。与基于Box-Behnken Design统计抽样方法的超高数值孔径光刻投影物镜高阶波像差检测方法相比,所提技术有效降低了采样数,提高了采样效率,加快了建模速度。采用光刻仿真软件PROLITH对所提技术进行了仿真验证,并分析了照明方式对高阶波像差检测精度的影响。仿真结果表明,该技术对高阶波像差(Z5~Z64)的检测精度优于1.03×10^(-3)λ,同时其建模速度提升了约30倍。
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关键词
检测
光刻
高阶波像差
多偏振照明
空间像
主成分分析
原文传递
题名
基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术
被引量:
3
1
作者
诸波尔
李思坤
王向朝
戴凤钊
唐锋
段立峰
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
中国科学院大学
上海微电子装备(集团)股份有限公司
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第7期135-143,共9页
基金
上海市自然科学基金(17ZR1434100)
国家自然科学基金(61405210
+1 种基金
61474129)
国家科技重大专项(2017ZX02101006-002)
文摘
提出了一种基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术。通过采用一元线性采样方式,在不同偏振照明条件下采集浸没式光刻机投影物镜的空间像进行主成分分析,在快速建模的同时实现高阶波像差的高精度检测。与基于Box-Behnken Design统计抽样方法的超高数值孔径光刻投影物镜高阶波像差检测方法相比,所提技术有效降低了采样数,提高了采样效率,加快了建模速度。采用光刻仿真软件PROLITH对所提技术进行了仿真验证,并分析了照明方式对高阶波像差检测精度的影响。仿真结果表明,该技术对高阶波像差(Z5~Z64)的检测精度优于1.03×10^(-3)λ,同时其建模速度提升了约30倍。
关键词
检测
光刻
高阶波像差
多偏振照明
空间像
主成分分析
Keywords
measurement
lithography
high-order aberration
multi-polarized illuminations
aerial image
principal component analysis
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术
诸波尔
李思坤
王向朝
戴凤钊
唐锋
段立峰
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
3
原文传递
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参考文献
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