基于电化学微加工技术的多元兼容集成制造工艺及其应用

随着摩尔定律日益趋近其发展极限,高集成、多功能微机电系统(MEMS)器件为智能化应用的发展提供持续不竭的动力.若要实现兼容更多功能部件的系统集成,关键是要突破多元材料、复杂结构难以异质异构集成制造的工艺难题.基于电化学微加工的多元兼容集成制造技术,以其低温且易于集成的工艺属性展现了材料多样性、结构多样性和工艺多样性兼容集成的潜力,提供了有效解决上述难题的优势技术途径,为面向重大需求的高性能、智能化、微型化的MEMS器件奠定技术基础.本文对典型MEMS微加工技术的兼容性进行分析,阐述基于电化学微加工技术的多元兼容集成制造工艺的技术内涵、发展潜力、关键技术和阶段成果,并进一步探讨了后续发展亟需解决的基础科学问题.