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氢化锆表面多元复合膜层制备和研究
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作者 闫国庆 陈洋 +4 位作者 彭家庆 吴明 张建东 张顺利 王力军 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3838-3842,共5页
采用尿素高温分解产生的氧化性气氛在氢化锆表面制备多元复合膜层。利用XRD、SEM、EDS、XPS、AES等分析测试手段对氢化锆表面膜层的相结构、截面形貌、元素成分及价态进行性能表征。物相分析结果表明膜层主要有氧化锆相和Zr N相,且氧化... 采用尿素高温分解产生的氧化性气氛在氢化锆表面制备多元复合膜层。利用XRD、SEM、EDS、XPS、AES等分析测试手段对氢化锆表面膜层的相结构、截面形貌、元素成分及价态进行性能表征。物相分析结果表明膜层主要有氧化锆相和Zr N相,且氧化锆相由单斜相(m-ZrO_2)和四方相(t-ZrO_2)组成。扫描电镜形貌分析表明原位生长氧化物膜层致密,膜层与氢化锆基体结合紧密。俄歇电子能谱结果表明膜层由C、N、O、Zr元素组成,并具有明显的分层现象,膜层由外向内分为富(C/N)层及富O层,随膜层表面溅射时间增加,O、Zr元素相对含量明显增加,C、N元素相对含量明显降低。X射线光电子能谱分析表明多元复合膜层存在Zr-O、Zr-C、Zr-N-O、Zr-N、O-H等键。 展开更多
关键词 氢化锆 多元复合膜 尿素分解 SEM XPS
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新型多弧磁过滤系统对TiAlN薄膜的组分调控 被引量:2
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作者 黄杰 史学伟 +1 位作者 廖斌 吴先映 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期27-33,共7页
针对磁过滤阴极真空电弧沉积技术制备多元复合薄膜的不足,设计研制一种新型的多弧磁过滤系统。该多弧磁过滤系统由两个支线管和一个干线管组成"Y"型的三通管结构。通过有限元分析和试验测量确定该新型多弧磁过滤器的最佳运行... 针对磁过滤阴极真空电弧沉积技术制备多元复合薄膜的不足,设计研制一种新型的多弧磁过滤系统。该多弧磁过滤系统由两个支线管和一个干线管组成"Y"型的三通管结构。通过有限元分析和试验测量确定该新型多弧磁过滤器的最佳运行参数为:支线管和干线管的长度分别为180和230 mm,内径为200 mm。支线管和干线管的磁场强度分别为40和90 mT。采用该新型多弧磁过滤系统制备TiAlN多元复合薄膜,结果表明:该新型多弧磁过滤系统可实现多元复合薄膜的组分调控,并且膜层的表面形貌光洁,膜层元素分布均匀。 展开更多
关键词 多元复合膜 磁过滤 阴极真空电弧 组分调控
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基于磁过滤技术制备亚微米级TiAlN/TiAlCN/TiAlC复合涂层的耐腐蚀性能 被引量:4
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作者 陈淑年 廖斌 +3 位作者 吴先映 陈琳 黄杰 何光宇 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期49-58,共10页
海洋环境中长期服役的船舶、舰载机关键部件存在严重的腐蚀问题。为提高其耐腐蚀性能,采用磁过滤真空弧(FCVA)技术制备不同Al/Ti含量比的亚微米级Ti(Al)N/Ti(Al)CN/Ti(Al)C多元复合多层膜(以下简称TANC)。通过扫描电子显微镜、X射线衍... 海洋环境中长期服役的船舶、舰载机关键部件存在严重的腐蚀问题。为提高其耐腐蚀性能,采用磁过滤真空弧(FCVA)技术制备不同Al/Ti含量比的亚微米级Ti(Al)N/Ti(Al)CN/Ti(Al)C多元复合多层膜(以下简称TANC)。通过扫描电子显微镜、X射线衍射仪、电化学工作站和盐雾试验机等表征薄膜的形貌、结构和腐蚀性能。结果表明:在盐雾试验中腐蚀形态主要以点蚀为主,随着膜层中Al/Ti含量比的增大,耐腐蚀性提高;电化学腐蚀试验中,亚微米级膜层的自腐蚀电流密度可达到10^-7 A/cm^2数量级,且随着膜层Al/Ti含量比的增大,腐蚀电流密度从7.73×10^-7减小到3.83×10^-7 A/cm^2,低频区阻抗值从1.19×105增大到4.70×10^5Ω·cm^2,较基底提高了2个数量级,耐腐蚀性能不断提高;盐雾腐蚀和电化学腐蚀结果一致,高Al含量的TANC耐腐蚀性能最优。通过FCVA技术能实现亚微米级TANC涂层的强防腐效果,该涂层具有发展成为关键部件耐海洋腐蚀涂层的潜力。 展开更多
关键词 磁过滤真空弧 亚微米级 多元复合多层 电化学腐蚀 盐雾腐蚀
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刀具涂层技术的新进展 被引量:21
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作者 吴大维 刘传胜 +2 位作者 傅德君 彭友贵 范湘军 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期574-576,共3页
:概述了一些具有应用前景的刀具硬质涂层新材料和多元、复合多层超硬薄膜的应用 ;介绍了超高硬度涂层材料 :低压气相合成金刚石、立方氮化硼和β-C3N4的研究进展 。
关键词 涂层刀具 超硬薄 多元复合膜 涂层工艺
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