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题名多元超硬膜(Ti,Al,V)N的制备及性能研究
被引量：2
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作者
尹瑞洁
乔学亮
陈建国
王晨
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机构
华中科技大学材料学院
一拖集团
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出处
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2001年第1期12-13,16,共3页
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文摘
采用多弧离子镀方法 ,以 Ti6 Al4V作为蒸发材料 ,N2 为反应气 ,在高速钢、玻璃及单晶 Si基体上沉积 ( Ti,Al,V) N多元超硬膜。结果表明 ,该镀膜工艺可行 ,制备出的 ( Ti,Al,V)
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关键词
多弧离子镀
(TI
AL
V)N
制备
多元超硬膜
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Keywords
multi arc ion plating
(Ti,Al,V) N
manufacture
properties
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分类号
TG174.444
[金属学及工艺—金属表面处理]
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