薄膜应力激光测量的新装置

介绍了一种基于多光束原理的薄膜应力测试方法,通过对反射光光点间距变化的检测,可以实时得到应力的信息。其灵敏度优于2.5×106 Pa,精度优于5%。该方案具有结构简单、测量速度快、适应性强等特点,与计算机自动控制系统相结合,可以应用于生产线的薄膜生长过程控制检测。

薄膜应力激光测量的新装置

薄膜生长过程中薄膜应力的检测已引起国内外广泛的关注和重视.文中介绍了一种光学和电子学结合的方法,建立了基于多光束光学传感器和光电检测电路以检测薄膜应力的装置,通过对反射光光点间距变化的检测,可以实时得到应力的信息.它可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量,灵敏度优于2.5×106 Pa,精度优于5%.该方案具有结构简单、测量速度快、适应性强等特点,与计算机自动控制系统相结合,可以应用于生产线的薄膜生长过程控制检测.

半导体薄膜特性实时检测的新装置

利用光学和电子学结合的方法,建立了基于多光束光学传感器和光电检测电路的检测薄膜特性装置。通过对反射光光点间距变化和光强振荡的检测,实时检测薄膜应力、厚度、生长率等常数的信息。通过理论分析,该装置厚度测量的精度优于2nm,应力的灵敏度优于5MPa,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制检测。

锂离子电池电极应力测量研究进展

对锂离子电池电极应力的测量方法进行综述,重点是电极应力的定量测量方法:激光束偏转法(LBDM)、多光束光学传感器系统(MOS)和微区拉曼成像。介绍了钴酸锂、锰酸锂、钛酸锂、石墨、硅和锡等材料的应力测量研究结果,提出了一些有待研究的问题。