具有超衍射和多受体的新型纳秒激光直写研究进展(特邀)

激光直写(LDW)是一种无掩模、高效且经济的微纳米加工手段,它广泛应用于微机电系统、光刻掩模版制作和微纳米加工等领域。随着纳米技术的迅猛发展,研究人员对LDW系统的多受体和高加工分辨率的需求日益增加。为了满足上述需求和探索新的微纳米加工技术,开发新型激光直写系统已成为必然。新型纳秒LDW系统是在激光与物质的非线性相互作用的原理下工作的,不仅突破了传统LDW只能使用有机光刻胶作为受体材料的限制,同时实现了超越衍射极限的加工。已经取得的进展表明了新型纳秒激光直写在多种材料刻写及纳米结构加工方面的优势和巨大发展潜力。本文将从原理、设备、技术方法与新应用等方面对新型纳秒激光直写进行评述和讨论。