用侧向力显微镜对力/电/热耦合作用下金表面力学行为的研究

对微构件力/电/热等多域场下力学行为的研究有着重要的意义,利用原子力显微镜采用纳米压痕法对样品金在力-电-热耦合作用下的表面力学性能进行了研究,实验表明在压痕过程中,无论在无电场作用下还是有电场作用下,压痕周围的金属由于挤压形成了凸起,从扫描得到的形貌图中可以明显的看出,压痕周围的亮区为材料被挤出的区域.此外,在外加直流电场作用下,随电流的增大,硬度值有增大的趋势,而残余压痕和弹性模量都呈现减小的趋势.