多孔型阳极氧化铝膜在纳米结构制备方面的研究和进展

铝的阳极氧化技术是一种被广泛应用的表面处理方法。近年来,人们发现用这种方法得到的多孔型阳极氧化铝膜(PAA)对于纳米材料的制备有着重要意义,成为国际研究的热点。本文回顾和介绍了铝的阳极氧化技术的机理、工艺和生长规律,介绍了多孔型阳极氧化铝膜在纳米结构制备方面的最新研究进展。

多孔型氧化铝薄膜在高密度封装中的应用及性能

利用铝阳极氧化方法对微晶玻璃基板上的多层铝膜进行选择性氧化,制备了4层布线的高密度MCM-D基板,对氧化得到的多孔型氧化铝介质膜的绝缘及介电性能进行了研究。实验结果表明:多层布线铝与氧化铝结合性好,层间和同层多孔氧化铝绝缘电阻分别达到10~9Ω和10^(11)Ω以上;多孔型氧化铝的相对介电常数和损耗分别为5.73和0.022(1 MHz);导带、互连通孔与绝缘层所形成的层间通孔互连结构共面性好,具有良好的电互连性能。多孔型氧化铝介质膜适用于制备高密度MCM—D基板。

利用扫描电镜和原子力显微镜测量纳米微孔阳极氧化铝膜

利用多孔型阳极氧化铝膜（PAA）制备纳米材料是近年来研究的热点之一，对PAA的形貌进行准确的表征具有重要的意义.文章首先分析了传统的扫描电镜（SEM）观测方法中镀膜工艺对样品和测量结果的影响，并提出了对镀膜过渡区进行观测的方案.然后着重研究了利用原子力显微镜（AFM）对PAA进行无损测量的方法，比较了不同测量模式下的测量结果，并利用Reiss模型对“针尖-样品卷积效应”进行了有效的修正.文章的研究结果不仅适用于多孔型阳极氧化铝膜这一研究领域，对于纳米多孔材料的测量也有普遍的参考价值.