大口径数字波面检测技术的研究

现代光学系统多采用大口径的光学元件来提高系统的测试精度。数字波面干涉仪是一种高精度光学元件检测设备,但目前传统的技术无法满足检测大口径光学元件的要求。在普通数字波面干涉仪的基础上,采用目标函数多孔径拼接技术,能很好地解决大口径光学元件检测问题,最终得到较完整的波前信息。

目标函数拼接技术精度研究

在较大孔径放大系数(>4)的情况下,结合实验结果,从拼接模式、被测面形、测量误差和不同孔径放大系数的角度出发,分析了各种因素对目标函数拼接技术精度的影响,为高精度检测和控制大口径光学元件表面面形(波前)提供了依据。

圆柱坐标下多孔径扫描拼接技术的迭代方法

从理论上提出了圆柱坐标下多孔径扫描拼接技术的迭代方法 ,并通过计算机模拟验证了其收敛性及精确性 ,证明这种算法对解决 36 0°面形测量问题具有重要的意义。