球体轮廓及半径非接触超精密测量方法研究

提出一种基于斐索干涉原理及子孔径拼接技术基础上的获取球体表面完整轮廓测量信息的非接触超精密测量的新方法，即利用激光球面干涉系统拾取球形工件在不同转位上的部分轮廓子孔径相关干涉测量信息，后经多孔径拼接及图像处理来获得球形工件完整轮廓的测量信息．该方法除可用于球形工件完整轮廓测量信息外，还可用于球形工件曲率半径的超精密非接触测量．还给出了测量系统中采用的消除阿贝误差和闲区误差的光路布局，并就受环境影响引起的状态差异误差进行了补偿抑制．实验表明：对状态差异误差、闲区误差和阿贝误差获得了较明显的抑制效果．