硅微加速度计多孔方板阻尼特性的数值分析

本文根据电容式微加速度计阻尼特性数学模型，完成了实践中常用的多孔方板结构电容式微加速度计阻尼特性的数值分析．比较了多孔方板结构阻尼特性数值分析结果。讨论了多孔方板结构参数对阻尼特性的影响，分析了多孔方板结构的“扰流”特性，并界定了具有物理一致性单元的结构参数范围．为多孔方板结构阻尼特性经验公式的提取作了准备，也为设计电容式微加速度计和优化其性能提供了帮助。