利用多层光刻胶工艺的准LIGA技术

ＬＩＧＡ技术在微机械结构的制作中具有很重要的作用。针对ＬＩＧＡ技术所存在的缺点，提出了一种利用多层光刻胶工艺的准ＬＩＧＡ技术。利用此技术，可以用普通光学曝光机将光刻图形转移到较厚的光刻胶上，而且深宽比可以做得很大。

基于准LIGA工艺的微型传动齿轮制作

研究了结合多层光刻胶工艺和金属牺牲层法制作微型传动齿轮的加工工艺,并给出了部分实验结果。

微细加工技术与设备

TN305,7 2000064241LSIC版图扫描场分割方式的研究=Study of scanningfield division methods for LSIC patterns[刊,中]/胡咏梅,胡毅,贾春娟,王绍钧(山东工业大学自动化工程系.山东,济南(250061))//微细加工技术.—1999,(4).—10—13对版图扫描场分割方式进行了研究。