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溅射Ti／TiN多层薄膜力学性能的改进
1
作者
彭补之
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第12期67-67,共1页
关键词
Ti/TiN
多层
薄膜
力学性能
改进
射频磁控溅射技术
多层功能涂层
下载PDF
职称材料
题名
溅射Ti／TiN多层薄膜力学性能的改进
1
作者
彭补之
出处
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第12期67-67,共1页
关键词
Ti/TiN
多层
薄膜
力学性能
改进
射频磁控溅射技术
多层功能涂层
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
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作者
出处
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1
溅射Ti／TiN多层薄膜力学性能的改进
彭补之
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2002
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