Al_xGa_(1-x)As/GaAs多层异质材料中Al_xGa(1-x)As层氧化特性的实验研究

本文报道了AlxGa1-xAs／GaAs多层异质外延材料中高Al组份的AlxGa1-xAs层在400～500℃与水汽（携带气体为N2）发生化学反应的氧化特性．其氧化反应是沿着AlxGa1-xAs层从其刻蚀出的台面边界开始横向进行的．AlxGa1-xAs层的氧化速度与AlxGa1-xAs中x值、层厚、水汽通量、氧化温度等4个因素有关；根据不同温度下AlAS层氧化反应速度常数，计算出了一定厚度AlAs层与水汽发生化学反应的活化能．

一种多层异质材料互联结构制造工艺方案的优化方法

针对天线产品中多层异质材料互联界面的优化问题,提出"分层优化综合评价"的优化策略。针对互联材料选择,基于材料的相容性准则、功能性要求、工艺性要求等规则进行定性推理获取可行互联匹配,通过性能指标法进行优化匹配及排序;针对互联工序优化,先根据互联工艺的顺序约束、温度约束等构建约束矩阵,再建立反映互联工艺顺序的有向图,得到最优的工艺路线;在工艺参数优化时,建立异质材料互联结构的参数近似优化模型,提出分级求解-上级逐层协调的渐进式协调求解模式。针对最终得到的多组可行的工艺方案,根据工程实践过程中的不同偏好,优先排序筛选出Pareto最优解,最后对pareto决策的多方案进行综合评价,实现方案的综合评价。