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多层独石式压电微位移器的扫描电声像研究
被引量:
1
1
作者
李国荣
姚烈
+1 位作者
陈大任
殷庆瑞
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
1998年第3期203-207,共5页
对多层独石式压电微位移器的陶瓷/内电极层界面进行扫描电子显微镜(SEM)和扫描电声显微镜(SEAM)的无损观察,发现该界面在SEM和SEAM下观察得到的像所给出的信息存在着很大差别。根据SEAM的成像原理、探针能谱分...
对多层独石式压电微位移器的陶瓷/内电极层界面进行扫描电子显微镜(SEM)和扫描电声显微镜(SEAM)的无损观察,发现该界面在SEM和SEAM下观察得到的像所给出的信息存在着很大差别。根据SEAM的成像原理、探针能谱分析(EDS)以及器件本身陶瓷/内电极层间的层状结构形式,认为这种差异是由于器件在热压和烧结等制作过程中,陶瓷层和内电极层间不同的收缩率使得界面产生非均匀性力学性能而引起的,它与器件烧结时陶瓷与内电极间界面的残余热应力有关。该热应力也是器件烧成时陶瓷与内电极分层以及部分器件在加电压应用时沿界面产生分层现象的一个重要原因。
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关键词
多层独石式
流延法
电声像
压电微位移器
原文传递
题名
多层独石式压电微位移器的扫描电声像研究
被引量:
1
1
作者
李国荣
姚烈
陈大任
殷庆瑞
机构
中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室
出处
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
1998年第3期203-207,共5页
基金
上海市科学技术发展基金
上海青年科技启明星计划
文摘
对多层独石式压电微位移器的陶瓷/内电极层界面进行扫描电子显微镜(SEM)和扫描电声显微镜(SEAM)的无损观察,发现该界面在SEM和SEAM下观察得到的像所给出的信息存在着很大差别。根据SEAM的成像原理、探针能谱分析(EDS)以及器件本身陶瓷/内电极层间的层状结构形式,认为这种差异是由于器件在热压和烧结等制作过程中,陶瓷层和内电极层间不同的收缩率使得界面产生非均匀性力学性能而引起的,它与器件烧结时陶瓷与内电极间界面的残余热应力有关。该热应力也是器件烧成时陶瓷与内电极分层以及部分器件在加电压应用时沿界面产生分层现象的一个重要原因。
关键词
多层独石式
流延法
电声像
压电微位移器
Keywords
Actuator, Tape casting, SEAM imaging, Thermal internal stress
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多层独石式压电微位移器的扫描电声像研究
李国荣
姚烈
陈大任
殷庆瑞
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
1998
1
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参考文献
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