测量多层薄膜材料复介电系数的准光腔技术

本文提出用准光腔测量薄膜材料复介电系数的新技术．根据双层介质的测量原理，把多层薄膜叠加起来并压上一块介电特性已知的平板样品以消除空气间隙及平整卷曲材料．推导了双层介质的正确理论计算公式，更正了以往文献中的失误之处．采用简易的变腔长法，对几种薄膜材料进行了测量，取得了满意的结果．

神奇的多层薄膜材料

多层薄膜材料已成为新材料领域中的一支新军.所谓多层薄膜材料,就是在一层厚度只有纳米级的材料上,再铺上一层或多层性质不同的其他薄层材料,最后形成多层固态涂层.

Sol-Gel法制备NiTiSMA/FC多层薄膜复合材料的组成结构研究

研究用Sol Gel法在NiTiSMA薄片基体上复合铁电陶瓷薄膜的工艺,讨论了热处理温度对铁电陶瓷层晶化的影响.结果表明,NiTi基体的高温氧化行为直接影响着铁电陶瓷层的结晶过程,并且随着陶瓷层结构的致密化该作用减弱.

新材料领域中的一支新军——多层薄膜材料

多层薄膜材料已成为新材料领域中的一支新军。所谓多层薄膜材料，就是在一层厚度只有纳米级的材料上，再铺上一层或多层性质不同的其他薄层材料，最后形成多层固态涂层。由于各层材料的电、磁及化学性质各不相同，多层薄膜材料会拥有一些奇异的特性。这种制造工艺简单的新型材料正受到各国关注，已从实验室研究进入商业化阶段，

LTCC上多层金属薄膜互连设计规范研究

结合现有的薄膜工艺技术平台，通过LTCC基板表面多层薄膜布线设计和关键工艺技术攻关，从LTCC基体上的多层薄膜的互连结构、互连尺寸、材料选配、加工流程等方面，研究和总结出“LTCC上多层金属薄膜互连设计规范”，有效解决了薄膜工艺与LTCC厚膜工艺的兼容性问题。

光学薄膜参数测试

O484.5 99063794测量多层薄膜材料复介电系数的准光腔技术=Openresonator technique for measuring the complexpermittivity of multilayer thin film materials[刊,中]/王守军,胡乐乐,徐得名(上海大学通信工程系.上海(201800))∥电子学报.—1998,26(5).—30—33,59提出用准光腔测量薄膜材料复介电系数的新技术。