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干涉法测量多层透明膜系反射率
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作者 魏仁选 姜德生 《光学与光电技术》 2003年第4期39-42,共4页
应用干涉法实现透明膜系反射率的测量。将待测膜系镀在两薄玻璃片,并构成F-P干涉仪,根据透射光谱的自由谱宽和干涉峰的半宽值,计算出膜系反射率,避免了光源波动对测量结果的影响。在实验所用膜系的反射率小于98%时,测量误差小于O.09%。
关键词 多层透明膜系 反射率 干涉法 光学测量 法布里-珀罗干涉 波长 薄膜
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