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空芯光纤中沉积多晶态GeO_2薄膜的实验研究 被引量：1
1
作者 周桂耀 侯峙云 +2 位作者 侯蓝田 何军 关兵 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2001年第1期52-55,共4页
通过缩短高温炉与冷却器的距离 ,使化学反应区与沉积区的温度梯度增加到约 9℃ /mm ,进而使GeCl4 与O2 可在内径为 1.0mm的空芯石英管内壁沉积上颗粒度约 0 .1μm、厚度为 3.0 μm的多晶态GeO2 介质膜 ,使表面更加光滑 ,提高了光纤的传... 通过缩短高温炉与冷却器的距离 ,使化学反应区与沉积区的温度梯度增加到约 9℃ /mm ,进而使GeCl4 与O2 可在内径为 1.0mm的空芯石英管内壁沉积上颗粒度约 0 .1μm、厚度为 3.0 μm的多晶态GeO2 介质膜 ,使表面更加光滑 ,提高了光纤的传输性能 ,光纤的传输损耗小于 0 .8dB/m . 展开更多
关键词 空芯光纤 多晶态二氧化锗薄膜 温度梯度 流速 化学气相沉积
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