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机电组件
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《电子科技文摘》 2001年第2期7-7,共1页
0101853SiO<sub>2</sub>涂层结构对 Cu<sub>70</sub>Ni<sub>30</sub>熔体过冷遗传性的影响[刊]/郭学锋//西安理工大学学报.—2000,16(2).—129~132(D)Y2000-62474-697 0101854利用5级多晶硅... 0101853SiO<sub>2</sub>涂层结构对 Cu<sub>70</sub>Ni<sub>30</sub>熔体过冷遗传性的影响[刊]/郭学锋//西安理工大学学报.—2000,16(2).—129~132(D)Y2000-62474-697 0101854利用5级多晶硅表面微机械加工技术制成的低压旋转式激励器=A low-voltage rotary actuator fabricated us-ing a five-level polysilicon surface micromachining tech-nology[会,英]/Krygowski.T.W.& Rodgers.M.S.//1999 IEEE International Electron Devices Meet-ing.—697~700(PC) 展开更多
关键词 机电组件 多晶硅表面微机械 过冷遗传性 涂层结构 加工技术 激励器 旋转式 理工大学 熔体 学报
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电子工艺
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《电子科技文摘》 1999年第5期36-37,共2页
Y98-61303-903 9905940多层多晶硅表面微机械加工工艺=Multi-layer en-hancement to polysilicon surface-micromachining technol-ogy[会,英]/Sniegowski,J.J.& Rodgers,M.S.//1997 IEEE International Electron Devices Meeting.... Y98-61303-903 9905940多层多晶硅表面微机械加工工艺=Multi-layer en-hancement to polysilicon surface-micromachining technol-ogy[会,英]/Sniegowski,J.J.& Rodgers,M.S.//1997 IEEE International Electron Devices Meeting.—903~906(AG) 展开更多
关键词 多晶硅表面微机械 电子工艺 加工工艺 混合模式 灵敏度控制 光灵敏度 接触电阻 检验过程 圆片 偏振特性
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发射机
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《电子科技文摘》 2001年第2期45-46,共2页
0102292基于小波变换的效字地图效据压缩技术研究[刊]/高攀//南京航空航天大学学报.—2000,32(5).—487~492(E)
关键词 小波变换 技术研究 电视发射机激励器 航空航天 大学学报 数字地图 数据压缩 多晶硅表面微机械 应急处理措施 无线发射
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