浅谈多晶硅高盐水的处理工艺及运行情况

本文介绍多晶硅高盐水的处理工艺及特点,总结了除硅、脱碳、MVR蒸发、三效蒸发等工序的运行情况,提出了多晶硅高盐水处理的工艺控制参数。